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迈克尔逊干涉仪测不透明薄膜厚度.doc

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迈克尔逊干涉仪测不透明薄膜厚度.doc

上传人:hnxzy51 2022/2/18 文件大小:137 KB

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文档介绍

文档介绍:-
. z.
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- 图3 实验主要装置简易图
2 实验原理
迈克尔逊光路原理
迈克尔逊干预仪的光路原理如图4 所示, 平面镜M1 、 M2 严格垂直,M1被很好的固定,M2可沿臂轴前后移动; G1 、G2 为平行等厚的光滑平玻璃板,与两平面镜成45°角,平玻璃板 G1一侧( 图靠右侧) 镀有很薄的银膜,由于可以把光束分成强度差不多的两局部,所以被称作分光板; 平玻璃板 G2 使得光束①和光束②在玻璃煤质中所走的光程相等,被称作补偿板。光源 s发出的光线经透镜后,射到G1的半透膜处,分成强度差不多的反射局部①和透射局部②。光束②经 G2 射到M2后,被反射,后又经 G2 射到半透膜上,经G1反射到观察系统 P ; 光束①射到G1中的半透膜,被其反射到 M1,继续被反射,经透射到观察屏 P; 由于这两束光满足光的相干条件,所以在屏上相遇会形成干预条纹。
图4 迈克尔逊光路原理图
等倾干预原理
在 S与 G1 之间加上一扩束镜,来提供不同角度的入射光,这样就可以形成等倾干预条纹。当M1⊥M2 时,与镜 M1的法线和镜 M2'的法线皆成θ角的入射光, 经 M1和M2'反射后的两束光( 1 ) 和( 2 )彼此平行(如图5),它们间的光程差可用下式表示:
〔1〕
其中 d是 M1与 M2'间空气层的厚度,它们属于同一级干预条纹,并定位于无限远。这时,通过屏 P观察到一组明暗相间的同心圆条纹, 其中的每一圆条纹都是等倾角光线叠加的结果, 称为等倾干预。中心条纹对应的倾角,对应的光程差最大,因此也是级数最高的条纹。为了方便,可以忽略反射光线之间的相位突变,则圆纹中心出现亮点的条件就是:
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- .可修编-
-
. z.
〔2〕由上式得中心干预条纹的级次:
〔3〕移动 M2 让 d发生变化, 当d增加时,对于任一级干预条纹,例如第k级,必定以减少其cosθk 的值来满足 2dcosθk=kλ,故该干预条纹向θk 变大的方向移动,这时就会观察到条纹不断从中心生出向外扩展;而且只要间距d增加, 就会有一个条纹涌出。相反,只要d比原来小, 条纹就不断缩进中心。由此观之,每当光程差增加或减少一个波长λ时, d就会增加或减少, 也就是M2 移动了 。设变化△N个干预圆环动镜的移动量为 △d , 则有环数的变化△N与 M2 的移动量△d之间的关系为:
△d=△N ·( 4 )
图5 等倾干预原理图
简化实验数据分析原理
迈克尔逊干预仪测波长直接得到的是圈数N和位置d,对〔4〕式运用数学工具,对其进展不定积分处理,得d与N的关系为:
〔5〕
此函数是以N为自变量 , d为积分变量,A 为积分常量的一条直线,对此可利用数学方法做 d-N 图〔如图6〕, 此直线的斜率代表的正是波长的一半 , 即。
由此知只要算出直线的斜率就可以轻松得出波长λ。
图6 数据分析原理图
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- .可修编-
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. z.
薄膜厚度可以被等厚空气膜代替原理
根据式(4)知道,只要能够知道△N 个干预环对应的动镜M2位置的移动量,就可以测得激光的波长 。相反的如果我们知道激光的波长,动镜M2移动量又恰好等于被测薄膜的厚度,而且该厚度对应干预环的变化数目△N是可以被数出的,则将各量λ,△N带入式( 4 ) 就可测定物体的厚度。这样就有两点说明:一是要使光程的改变正好等于被测厚度的倍数,二是要能记录与之对应干预的吞吐环数。为了到达第一点要求