文档介绍：----
1 / 3
多晶硅生产工艺流程 (简介 )
-------------------------来自于网络收集
多晶硅生产工艺流程 ,多晶硅最主要的工艺包括，三***氢硅合成、四***化硅的热氢化〔有的采用***氢化〕，精馏，复原，尾----
1 / 3
多晶硅生产工艺流程 (简介 )
-------------------------来自于网络收集
多晶硅生产工艺流程 ,多晶硅最主要的工艺包括，三***氢硅合成、四***化硅的热氢化〔有的采用***氢化〕，精馏，复原，尾气回收，还有一些小的主项，制氢、***化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。
主要反响包括： Si+HCl---SiHCl3+H2 〔三***氢硅合
成〕;SiCl4+H2---SiHCl3+HCl 〔热氢化〕;SiHCl3+H2---SiCl4+HCl+Si
〔复原〕多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅
生产工厂所用主辅原料不尽一样，因此生产工艺技术不同；进而对应
的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、
过程平安等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，
目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改进西门子法、硅烷法和
流化床法。改进西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的
多晶硅约占多晶硅全球总产量的85％。但这种提炼技术的核心工艺
仅仅掌握在美、德、日等 7 家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占
全球多晶硅总产量的90% ，它们形成的企业联盟实行技术封锁，严
禁技术转让。短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。
西门子改进法生产工艺如下：
这种方法的优点是节能降耗显著、本钱低、质量好、采用综合利用技术，对环境不产生污染，具有明显的竞争优势。改进西门子工艺
----
法生产多晶硅所用设备主要有：***化氢合成炉，三***氢硅沸腾床加压
合成炉，三***氢硅水解凝胶处理系统，三***氢硅粗馏、精馏塔提纯系
统，硅芯炉，节电复原炉，磷检炉，硅棒切断机，腐蚀、清洗、枯燥、
包装系统装置，复原尾气干法回收装置；其他包括分析、检测仪器，
控制仪表，热能转换站，压缩空气站，循环水站，变配电站，净化厂
房等。
〔1〕石英砂在电弧炉中冶炼提纯到 98%并生成工业硅，其化学反响 SiO2+C→Si+CO2↑
〔2〕为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水***化氢 (HCl) 与之反响在一个流化床反响器中，生成拟溶解的三***氢硅 (SiHCl3) 。
其化学反响 Si+HCl→SiHCl3+H2↑
反响温度为 300 度，该反响是放热的。同时形成气态混合物
(