文档介绍：中图分类号:UDC:学校代码:10055密级:公开盖稳犬***硕士学位论文飞秒激光直写微纳加工研究Micro/Nano—FabricationbyFemtosecondLaserDirectWriting论文作者云志强指导教师张心正教授申请学位理学硕士培养单位物理科学学院答辩委员会主席张国权教授评阅人赵丽娟教授、禹宣伊副教授南开大学研究生院二O一三年五月南开大学学位论文使用授权书Imllllll|lY2409215根据《南开人学关于研究生学位论文收藏和利用管理办法》,我校的博士、硕士学位获得者均须向南开大学提交本人的学位论文纸质本及相应电子版。本人完全了解南开大学有关研究生学位论文收藏和利用的管理规定。南开人学拥有在《著作权法》规定范围内的学位论文使用权,即:(1)学位获得者必须按规定提交学位论文(包括纸质印刷本及电子版),学校可以采用影印、缩印或其他复制手段保存研究生学位论文,并编入《南开大学博硕士学位论文全文数据库》:(2)为教学和科研目的,学校可以将公开的学位论文作为资料在图书馆等场所提供校内师生阅读,在校园网上提供论文目录检索、文摘以及论文全文浏览、下载等免费信息服务:(3)根据教育部有关规定,南开人学向教育部指定单位提交公开的学位论文;(4)学位论文作者授权学校向中国科技信息研究所及其万方数据电子出版社和中国学术期刊(光盘)电子出版社提交规定范围的学位论文及其电子版并收入相应学位论文数据库,通过其相关网站对外进行信息服务。同时本人保留在其他媒体发表论文的权利。非公开学位论文,保密期限内不向外提交和提供服务,解密后提交和服务同公开论文。论文电子版提交至校图书馆网站::8001/paper/。本人承诺:本人的学位论文是在南开大学学****期问创作完成的作品,并已通过论文答辩:提交的学位论文电子版与纸质本论文的内容一致,如因不同造成不良后果由本人自负。本人同意遵守上述规定。本授权书签署一式两份,由研究生院和图书馆留存。作者暨授权人签字:云壶强2013年5月28日南开大学研究生学位论文作者信息论文题目飞秒激光直写微纳加上研究姓名云志强学号2120100132答辩日期2013年5月21日论文类别博士口学历硕十一硕士专!上学位口高校教师口同等学力硕士口院/系/所物理科学学院专业光学联系电话8920170640Emailyzqnk@通信地址(邮编):天津市泰达经济技术开发区宏达街23号7区(300457)备注:是否批准为非公开论文否注:本授权书适用我校授予的所有博士、硕士的学位论文。由作者填写(一式两份)签字后交校图书馆,非公开学位论文须附《南开大学研究生申请非公开学位论文审批表》。南开大学学位论文原创性声明本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师指导下进行研究工作所取得的研究成果。除文中已经注明引用的内容外,本学位论文的研究成果不包含任何他人创作的、已公开发表或者没有公开发表的作品的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本学位论文原创性声明的法律责任由本人承担。学位论文作者签名:云志强2013年5月28日非公开学位论文标注说明(本页表中填写内容须打印)根据南开大学有关规定,非公开学位论文须经指导教师同意、作者本人申请和相关部门批准方能标注。未经批准的均为公开学位论文,公开学位论文本说明为空白。论文题目申请密级口限制(≤2年)口秘密(≤10年)口机密(≤20年)保密期限20年月日至20年月日审批表编号批准日期20年月日南开大学学位评定委员会办公室盖章(有效)注:限制★2年(可少于2年):秘密★10年(可少于lO年):机密★20年(可少于20年)摘要摘要飞秒激光可以与树脂、半导体、玻璃、金属等多种材料相互作用。飞秒激光直写技术结合了飞秒激光的非线性效应和材料的阈值效应,可以实现突破衍射极限的微纳加工。飞秒激光直写技术不仅加工速度快、加工步骤简单,还可以应用于三维光子晶体等多种三维微纳结构的加工。本论文将飞秒激光直写技术应用于宽禁带半导体碳化硅和二维单原子层材料石墨烯进行微纳加工研究。使用掺钛蓝宝石激光器(800nln,130fs)、荧光倒置显微镜和三维压电位移台搭建了飞秒激光直写微纳加工平台,并使用LabVIEw开发了平台应用程序。利用搭建的平台对碳化硅进行微纳加工。分析了激光平均功率和位移台扫描速度等因素对碳化硅加工分辨率的影响。加工分辨率随激光平均功率的减小和位移台扫描速度的增大而提高。在碳化硅上实现了突破衍射极限的加工。获得最细125am的刻蚀线,并制作了周期1gm、刻蚀线宽240nin的光栅结构。对化学气相沉积生长的石墨烯进行微纳加工研究。分析了激光平均功率和位移台扫描速度等因素对石墨烯加工分辨率的影响。加工线宽度随激光平均功率