文档介绍：中国电子科技集团公司第四十八研究所
M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统
使 用 说 明 书
中国电子科技集团公司第四十八研究所
2007年2月
中国电子科技集团公司第四十八研究所
目 录
1．概述······艺
M5112-1B M5112-2B M5112-3B M5112-4B
M5113-1B M5113-2B M5113-3B M5113-4B
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６) 双温区扩散(外延)系统
M5112-1S M5112-2S M5112-3S M5112-4S
M5113-1S M5113-2S M5113-3S M5113-4S
型号组成 — 所企业代号（中国电子科技集团公司第48所）
特点代号
设计顺序号
主参数（1100℃）
品种代号（扩散设备）
形式代号（掺杂设备）
类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）
代号意义
1100℃
3〞硅片工艺
4〞硅片工艺
6〞硅片工艺
8〞硅片工艺
环境温度5～40℃。
相对湿度＜75％。
海拔不超过2500m。
电网电压波动不超过额定值±10%。
环境洁净度不劣于：1000级。
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有良好的抽风排毒系统，每管抽风量3000～5000L/min。
无高频及较强的磁场干扰。
供电：3Ф＋中线+地线，50HZ；单台(4管)总功率≤200KVA。
供水：3／4 〞管供自来水，～，冷却用；去离子水，清洗及
工艺用。
供气：N2、O2 、HCl、压缩空气，～，﹪。
气源柜、废气室、净化台及炉体柜顶部均应接入排毒、排气管道。
设备应接入专用接地线，接地电阻≤3 Ω。
2．结构特征与工作原理
总体结构分为四大部分，见系统配置图1，从右到左为：控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。
图1
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整个控制柜分为五层，计算机控制部分分上层、中上层、中下层及下层四个独立部分，每层控制对应层的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心。
在每层相应的前面板上，左侧分布有工业级一体化的15″触摸显示器，右侧分布有报警器、状态指示灯以及控制开关、急停开关等。在控制柜的后面板，每层放置有工控计算机(IPC610P)一台、外置控制板卡二块（16024D-A固态继电器载板），工控机的下方安装有FB400控温温控仪五个以及保护温控仪RKC-CH402三个，分别对应控制和保护炉体的左、中、右五段温度。用钥匙可以打开工控机控制面板，在工控机控制面板上，分布有电源开关、软驱插口、电源指示灯(POWER)、硬盘指示灯（）、KB-LK指示灯、复位(RESET)按键、键盘锁（KB-LOCK）按键。每层机箱输出端口与对应的控制线路都已经连接就绪，并有相应的标号提示。在电控柜的顶部设置有组合式信号灯，用以对每管设备的运行情况进行监视，当系统出现异常时信
号灯发出声光报警。
不可带电拔插工控机的接口插头，更不可有随意改换连接。如非专业人员及检查、维修需要，不可打开工控机的盖板。
工控机控制框图见图2。
图2
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在控制柜的底层，安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路、电路转接控制板及各层的开关、保险等, 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。
该柜内有220V的交流电，也有15V、5V直流电和控制信号线，检修时请注意区分及安全，谨防接错和短路。
推舟净化柜的顶部装有照明灯；正面是水平层流的高效过滤器及四层推舟的丝杠、导轨副传动系统及SiC悬臂桨座，丝杠的一端安装有驱动步进电机，导轨的两端是限位开关和极限保护开关（装在上面的是限位开关，装在下面的极限开关）。靠近炉口的净化柜顶部设有漏斗状的抽气罩，与外接抽风系统连接后，用来排掉出舟时散发的大量高温有毒气体。
在柜子的下部装有控制电路转接板及净化用风机。
1、推舟净化柜内有380V交流电，请注意安全！
2、装配和使用过程中请注意始终保持限位开关先于极限开关接通。
电阻加热炉柜共有六层。顶