文档介绍:维普资讯 第4 期 王其 等: 致变 和 电 色w 。 的结 光电 研究 e 薄膜 构与 性能 ’2 ・ 53 22 e薄膜的表面 . w s 分析 样 品 s】s】s1s 】 a算机模拟出的在不同 载流子浓度N 下的典型 W 。 。 O薄膜反射 率光谱实验曲线. O薄膜几何厚度为 W。 Bn i n rye ) id g E eg (V n 罔5a 样品s () b 的O 结合能谱 Fg 5 a XP p cr m o f a l S 1 i・ ( ) S setu f o mpe b On s 20A 基底折射率为15. 载流子 00 . .3可见 浓度 N 提高时, 。 等离子波长向 短波方向 偏移. 且曲线的过渡部分越来越陡. 对晶 态W s O薄膜, 在其 施加电场后, 当 其载 图5b样品s w 结合能谱 () b 的 Fg 5 b X Ss etu fW“o a l S 1 i. ( ) P p cr m o f mpc b s 流子浓度等参量发生改变, 使 发生变 化, 膜的着 色程度也就不一样. 晶态WO薄膜 。 在红外区 高反射来源于表现等离子振 域的 荡。 象金属膜在可见 区的行为一样; 而当入 时, < 考虑到散射效应及自由电子吸收, 经典的 Due rd 理论不再适用. 3 结论及其器件的应用 用 真空电 子枪反应热蒸法制备的W 。 O薄膜具:良好的特性. 于其可控的光学性质. 仃 由 目 成为一种非常有发展前 前已 途的功能性薄膜. 首先, 于显示技术. 用 与近年来发展迅速的 液晶显示技术相比, 致变色显示 电 器有着显色对比 度好、 生 几乎不存在视盲角、 可视f 高、 工作 电 压低、 工作条件不 苛刻以及 工艺简 成本低廉等诸 单、 多优点, 但由于 变色响应速度慢、 环 循 工作寿命短. 不宜用作 变化快的实时 信息( 视) 如电 的显示.95 本Aai 18 年日 s 玻璃公司已 k 研 制出5 7 5 1点阵的电包 × 和1× 6 显示器, 据报导已 于航班次的显示[ . 试用 1 其次作为 光调制 器件来改变透过窗玻璃的辐射能量, 达到控制建筑物内部温度的目 日 的. 本的高桥武彦
维普资讯 第4 期 王其和等: 致变色WO 薄膜的结构与光电 电 性能研究 ・2 ・ 55 (aaa i ) Tkhs 近年来利用固 hY 体 o8 . T a 膜作为质子导体, O 在光调 制器方面的应用 研究取得丁引 人 注目 的成绩, 已有商品化生 产. 本和美国, 在日 有许多公司 g 呈0 t 6 o4 . o .2 和实验室从事这方面的工作, 如口本的 Aai s 玻璃实验室、 k Sap hr 公司、e o公司、ay Si k Sno Wae n t(m) v l ghI e b 0 公司、o i 公司等; Tsb ha 美国的 Tx 公司、 M 公司等, ea s I B 我国 对这方面的研究