文档介绍：独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究丁作和取得的研究成果,除了文中特别加以标淀和致谢之处外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得云望至些盔堂或其他教育机构的学位或证书丽使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签名:耳{正签字日期:.2。B年2月遮日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解云i塑些太堂有关保留、使用学位论文的规定。特授权丞婆王些太堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。(保密的学位论文在解密后适用本授权说明)学位论文作者签名:诙搜签字口期:力B年工月砑口导师签名:签字口期:助B年)月)g口学位论文的主要创新点一、推导计算并约化双温方程,对建立的双温模型进行模拟,得出电子晶格变化关系,讨论耦合系数、脉冲能量等因素对激光烧蚀模型的影响。二、改进双温方程,建立适合二氧化硅的烧蚀模型,数值模拟出飞秒激光加工二氧化硅的形貌特征。摘要由于飞秒激光具备高精度,低热影响区等诸多优势,使得飞秒激光与物质相互作用有着无可比拟的优势,随着技术的愈发成熟,传统的一些微纳机械加工技术将逐渐的被激光技术取代。但是飞秒激光技术还存在许多问题,一是飞秒激光与物质相互作用,加工理论模型较复杂,由于飞秒激光与物质相互作用时间极短,宏观的很多热传导理论已不能满足研究分析。二是如何控制加工形貌,让其满足粗糙度要求。本文从理论和数值模拟对飞秒激光与二氧化硅相互作用进行研究,论文研究内容主要包括:,为建立合理的激光烧蚀理论与数值模型打下基础。,约化,计算。掌握双温方程的理论数值意义。。利用一维双温方程数值模拟其相互作用的过程。再通过建立二维双温方程,近一步研究两者相互作用的过程,计算温度,深度以及其他参数的变化关系。,建立适合其加工特性的数学模型,并且模拟出飞秒激光烧蚀二氧化硅的加工形貌,讨论不同因素对加工形貌的影响。,激光能量,脉冲数等因素对烧蚀过程的影响,即确定相邻加工形貌的合理搭接。关键词:飞秒激光:微加工;烧蚀;双温方程AbstractFemtosecondl弱erhasmanyadVantages,suchash逸h-precision粕dlow-heata丘lectedzone,,someofthetraditio眦1micro-andnano-machillmgtec|111【ologywill伊aduallybereplacedbylasertecllr】【Ⅱlology:first,t11efemtosecondIaserneractillgw柚matter,Ⅱltosecondlasermatterinter孔tiontheisVeryshon,舳nymacroscopicheatconductiontheoryc锄otmeettheresearchaIldanalysisneeds;thesecondishowtocontroltheprocessiflgofmorpholog弘soastomeettheroug}:),reduceandcalculatetwo—