文档介绍：tan
E pr Esr
pr
sr pi si
为简化方程，将线偏光通过方位角
45的4波片后，就以等幅椭圆
偏振光出射，Epi Esi
;改变起偏器方位角就能使反射光以线偏振光出
射,
pr sr 0或，公式化简为:
tan
E pr Esr
pr
sr pi si
为简化方程，将线偏光通过方位角
45的4波片后，就以等幅椭圆
偏振光出射，Epi Esi
;改变起偏器方位角就能使反射光以线偏振光出
射,
pr sr 0或，公式化简为:
tan
Epr/Esr
pi si
椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验报告
组别：69组院系：0611 姓名：林盛学号：PB06210445 实验题目：椭偏仪测量薄膜厚度和折射率
实验目的：了解椭偏仪测量薄膜参数的原理，初步掌握反射型椭偏仪的使用方法。
实验原理:
椭圆偏振光经薄膜系统反射后,偏振状态的变化量与薄膜的厚度和折
射率有关，因此只要测量出偏振状态的变化量，就能利用计算机程序多次逼近定出膜厚和折射率。参数描述椭圆偏振光的P波和S波间的相位差
经薄膜系统关系后发生的变化，描述椭圆偏振光相对振幅的衰减。有超越方程:
Epi Esi
这时需测四个量，即分别测入射光中的两分量振幅比和相位差及
反射光中的两分量振幅比和相位差，如设法使入射光为等幅椭偏光,
Eip / Eis 1 ,则 tg
Erp / Ers
；对于相位角，有:
( rp rs ) ( ip
is)
ip is rp rs
因为入射光ip
is连续可调，调整仪器，使反射光成为线偏光，即
（ip is）,可见只与
rp rs =0 或()，贝(J( ip is )或
反射光的p波和s波的相位差有关，
的膜，是定值，只要改变入射光两分量的相位差（ ipis）,肯定会找到
特定值使反射光成线偏光,rprs=0或（）。
实验仪器：椭偏仪平台及配件、He-Ne激光器及电源、起偏器、检偏器、
四分之一波片、待测样品、黑色反光镜等。
实验内容：
.按调分光计的方法调整好主机。
.水平度盘的调整。
.光路调整。
.检偏器读数头位置的调整和固定。
.起偏器读数头位置的调整与固定。
. 1/4波片零位的调整。
.将样品放在载物台中央，旋转载物台使达到预定的入射角700即望远镜转过
400,并使反射光在白屏上形成一亮点。
.为了尽量减小系统误差，采用四点测量。
.将相关数据输入“椭偏仪数据处理程序”，经过范围确定后，可以利用逐次逼近法，求出与之对应的d和n ;由于仪器本身的精度的限制，可将 d的误差控制在1埃左右，。
实验数据：
实验测得数据如下:
1 ，，，…、
1波片放置角度
4
45
一45
n
1
2
3
4
A()

P ()

（注：试验中，对于角度大于180度，计算时减去180度。）
将表格中数据输入“椭偏仪数据处理程序”，利用逐次逼近法，求出与之对应的厚度d和折射率n分别为：
n =564nm
误差分析：