文档介绍：涡轮分子泵说明
相关零件资料如下：
TURBOMOLECULARPUMPTG220FVWB-94轮分子泵
POWERSUPPLYTOTMPTC223-10轮分子泵供电中频电源
REMOTETRANSFORMCABLEONP/SS
涡轮分子泵说明
相关零件资料如下：
TURBOMOLECULARPUMPTG220FVWB-94轮分子泵
POWERSUPPLYTOTMPTC223-10轮分子泵供电中频电源
REMOTETRANSFORMCABLEONP/SSIDE连接线
MOTORTRANSFORMCABLEONP/SSIDE连接线
MOTORTRANSFORMCABLEONBODYSID莪线
该涡轮分子泵及配套电源用于电子束焊机电子枪室的抽真空，真空度要求高。
主要规格：
排气速度：N2
最大压缩比：N2
220L/S
1X108
到达压力：
v1X10-8Pa
起动时间：
1—
停止时间：
—
所需冷却水量：
所需电力：
最大400VA
工作原理：
涡轮分子泵是应用高速旋转的叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向活动的原理来抽气。其优点是启动快，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能取得清洁的超高真空。
性能和特性：
泵的排气压力与进气压力之比称为紧缩比。紧缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体品种有关。分子量大的气体有高的紧缩比。
对氮（或空气）的紧缩比为108〜109;对氢为102〜104;对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕，工作压力范围为10-1〜10-8帕，抽气速率为几十到几千升每秒（1升=10-3米3）。涡轮分子泵必需在分子流状态（气体分子的均匀白在程远大于导管截面最大尺寸的流态）下工作才干显现出它的优越性，因而请求配有工作压力为1〜10-2帕的前级真空泵。分子泵白身由转速为10000〜60000转/分的中频电动机直联驱动。