ZYGO干涉仪-使用说明.doc

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1目的
为了使职工正确熟悉的使用ZYGO干预仪。本文详细说明了如何使用ZYGO 干预仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围
本文件涉及用ZYGO 干预仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据 动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定〔例如正方形则选择square〕。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。并在动态图像上方无晶体的空间内，选择与待测晶体规格相近的区域，此区域将作为参考区域。
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ZYGO干预仪使用说明
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图三
然后，点击下部选项中的BG Inc使该按钮变为BG EXC，锁定选择区，点击Define，定义Acq。之后点击Test，选择Unfill，去除最后标定的参考区域，
图四
点击Define，定义Test〔晶体测试区域〕。再点击Ref，选择Fill，添加最后标定的参考区域，点击Pick，然后用鼠标点击待测晶体区域边框，选择Unfill，去除晶体待测区域，点击Define，定义Ref〔参考区域〕。
，系统进行自动测算。当监视器中左下角出现Wedge sec〔〕时， 即为晶体的平行度。测试完毕后关闭平行度测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。
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平面度测试
调整监视器遥控器上的显示切换键〔ALIGN/VIEW〕，使监视器处于排列状态。移除标准参考反射镜面，将晶体放置到样品支架上，调整晶体方向，使其反射回的光斑与十字分划线交点重合。完成后，按监视器遥控器上的显示切换键，使监视器处于浏览状态。。
〔如图五所示〕，在弹出的对话界面中点击Fringe按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
Data按钮〔如图五所示〕, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定〔例如正方形则选择square〕。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。点击Define，定义待测区域。
，系统进行自动测算。当监视器中左上角出现PV Wave〔〕时〔如图六所示〕，。测试完毕后关闭测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。
图五 图六
波前畸变测试
主要测试步骤如下：
〔ALIGN/V