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直拉单晶操作规程拉晶工艺流程包括拆炉一一清炉一一清理石墨件一一装炉抽空
——冲氧气——熔硅料——引晶?放肩-?
转肩投自动等径收尾停炉
1斯炉:准备好不锈钢推车,〔,穿好防尘服,戴好防尘帽,戴上棉手套与两层一次性手套,用氧气吹一下石英增璃内壁后装入石墨璃内,再用蘸有少量酒精的纤维纸擦拭干净,给上璃转,观察增璃是否水平,,先在底部平铺一些小硅料,然后把一些大块的料轻放在中间,再把一些小料放在大块料的中间,,,,,将位置摆正,插好销子,稍用力往下拽,以免籽晶与钥销因未接触而悬空,,岳册室,小副室的密封圈面,然后合上炉盖与副室,稳定籽晶后关上副室门.
抽空：翻开真空泵,缓慢的翻开球阀,听抽气时的声音,
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完全翻开球阀.
冲氧气：在抽空过程中须导入几次氧气,.
熔硅料：在加热之前必须先充氧气,然后再加热,一档功率
为25KW左右,待过半个小时后把功率升至二档50KW左右,再过半个小时后把功率升至三档化硅功率80KW进行化硅〔京仪的为85KW〕.,,,如有杂质漂浮或近期原料不好时,必须将最后一块料提出,.
引晶：在引晶前必须将籽晶在脖口处和导流筒下口处分别预热5-,已用过籽晶用细径试温,熔接〔对每台炉的功率变化,欧陆变化,操作工心里要有底〕细径籽晶的直径在5mm以上,引的细颈直径控制在3-5mm长度原理上是细径的7-8倍,-6mm/.
放肩：,放肩开始要慢,根据放肩情况进行降温,放肩时尽量放平肩,时间控制在1--.
转肩投自动：,降温100-200uv,转肩速度2-4mm/min〔根据实际操作情况〕,转肩中适当的给点蜗升,投入自动,拉速根据情
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,计长清零,翻开璃升璃跟比,先投温校,稳定些时间后,,需注意观察十几分钟,让其稳定.
10等径：每半个小时做一次记录,经常观察炉内的状态,,该回熔的把璃位降至引晶垠I位下20mm处进行回熔操作,如果晶棒长度到达400mm以上或因提肩较多或拉制时间过长的单晶长度在300mm左右应提A段,,以2mm/min左右的拉速