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用激光干预仪系统进行精确的线性测量
最正确操作及实践经验
简介
本文描述的最正确操作步骤及实践经验主要针对使用激光干预仪校准机床如车床、锐床以及坐标测量机的线性精出光束
如果激光头有一个允许选择小直径输出光束的光闸,
径越小, 100% ,因
此更容易发现光强改变.
实现最大激光测量读数
如果激光测量存在余弦误差,,在短轴上消除余弦误差是行得通的,方法是：仔细调整激光头的俯仰和扭摆, 下：
a）通过肉眼沿运动轴准直光束.
b）移动轴,使光学镜组之间间隔最近,并将激光读数清零.
c）移动轴,使光学镜组之间间隔最远.
d）仔细调整激光头的俯仰和扭摆,以获得最大（绝对）激光测量值.
注：此步骤要求精细操作,,可能需要做一系列的精细调整,做完每次调整需要将手从三脚架调节螺钉上拿开,然后打量对激光读数的影 , 中,也可能需要选择激光读数的最高分辨率,并将平均〞设定为了开〞.
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使用激光准直传感器
,包含四象限光敏元件
（“Quadcell ）'、位置传感器（PSD ）、光电耦合器件或束直径、.
自动反射法
如果机器轴很短并且有平面与运动轴正好垂直或平行（在）,那么自动反射
：
a）通过肉眼沿运动轴检查光束准直.
b）将钢质块规放到激光光束路径上（在干预镜之后）并紧靠一个或多个平面上.
c）调整激光头进行俯仰和扭摆准直,使块规外表反射的光束回到激光头的输出光孔中.
当激光头与干预镜相隔一定的距离时,这种方法尤其有效.
使干预镜滚摆、俯仰和扭摆误差降至最低
大多数干预镜包含极化分光面,,信号 , 来,在滚摆、俯仰和扭摆方向上,最好使干预镜的准直角度小于坦..这通常可以通过目
测完成, 准直是否令人满意,值得进行这样一项测试,即阻挡干预镜和角锥反射镜之间的光束,确认系统显示光束阻挡错误〞标记.
波长补偿
、压力和相对湿
,激光线性测量误差可能到达 50 ppm.
测量俯仰、扭摆或直线度时,通常不使用补偿.
使用波长补偿
假设不使用波长补偿,
内,日常的空气压力改变也可能使波长改变达 20 ,或提供手
动或提供自动的