考研必备 01第一章第一节扫描电子显微镜 PPT课件.ppt

文档介绍：第一章扫描电子显微镜
一、照明系统(电子光学系统)
二、成像系统
三、样品台
四、真空系统
五、稳压系统
第一节扫描电子显微镜结构
一、照明系统(电子光学系统)
电子枪:提供稳定的电子照明源
聚光镜(二级、有光栏):束斑2μm
物镜及偏转线圈:束斑 几十Å
二、成像系统
成像系统
成像系统
三、样品台
四、真空系统
RP+DP
RP:机械泵, 10-2-- 10-3τ
DP:扩散泵(硅油),10-5 τ
1τ=1mmHg
五、稳压系统
10-4