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第卷第期中国斜缘矗求大誊辱搬.,.
年月『.
文章编号———
高压功率阈值电压温度系数的分析
孟坚,陈军宁,柯导明,孙伟锋,时龙兴。,王钦。
安徽大学电子科学与技术学院,安徽合肥;.东南大学国家工程中心,江苏南京
摘要:分析了高压在一℃至温度范围内的温度特性,并给出了阈值电压温度系数
,可以得到以下结论:高压的阈值电压温度系数在相当宽的温
区内是一常数;可用温度的线性表达式来计算闽值电压温度系数;薄栅氧化层和高沟道掺杂浓度可
减小高压功率的阈值电压温度系数.
关键词:高温;高压功率;阈值电压温度系数
中图分类号:. 文献标识码:

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: 一℃~ ℃
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一\
多文献讨论了的这两个参数与温度的关
系,
高压功率与平面相比较,由于解参数与温度关系时,通常是直接将平面
经常工作在高电压、大电流的状态下,
的高度发热,导致实际工作环境的高温状沟道掺杂有一个纵向分布,因此,这种直接推广是有
态,因此,,本文分析了我们在“”计
分重要..众所周知,与温度有关的参数划课题中所设计的高压阈值电压随温度变
中,最重要的是阈值电压与迁移率,尽管已有诸化情况为实际应用提供参考依据.
收稿日期:—;修回日期:
基金项目:国家自然科学基金和国家“”计划资助.
作者简介:盂坚,,博士生/:半导体器件的模拟与建模.;...
通讯作者:陈军宁,教授,:..
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第期高压功率阈值电压温度系数的分析
高压】添的缚蕾势昙堕⋯⋯
厶
我们所用的是沟道高压,
电压约在,沟道长度约在左右,沟高温特性时,取℃.丁一一,即
道掺杂浓度较高,图是相应的一种结构图.
一℃时, .对于大部分来
说,℃时,导电沟道已经基本上消失了,所以
最大值可以设为,因而得到
——
厶

一.
.
一个典型的高压的峰值浓度约在
~之间,因此它的,约在.~
.之间,.
关系可表示为
圈高压的结构图
吕一寺·—
这种结构中的沟道区是两次扩散形成的,杂质
,,得到
值,可以把峰值处的费米势定义为的体费
米势。,因此,的费米势为,一寺』⋯“㈣
从式和式可以看出,是与温度无关的常
一
数,式可改写成
,一, —
一.×
式、为的体费米势,故取正号. 代入式后得到/。一.×。。~.由
为沟道峰值处的掺杂浓度是本征载流于沟道掺杂浓度低于此值,所以,为一个负值.
子浓度;为绝对温标;志是波尔兹曼常数是电子
电荷; 是禁带宽度,基本上与温度无关,可以作为黪的阈值电压温度系数
一个常数引. 由于高压的沟道较长,沟道浓度高,所
将式代入式,求导