平晶使用平面平晶使用方法.docx

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平晶使用Webon快速平面度检测
-.首先采用平面检测仪器对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初: .
平晶使用Webon快速平面度检测
-.首先采用平面检测仪器对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初步精度
如研磨后的器件达到5um以内可以用平晶进行检测未达到继续研磨器件可以不用下盘。
FG-5检测120以内FG-7检测170以内FG-9检测220以内FG-30检测650以内h干浙条位捕im
。是否合格
以300的密封器件为例的。
检测的整个面必须首先看到同心圆才合格
2um的面型精度整个面的同心圆条纹小于3个


也就是说必须是小于3个的同心圆条纹才合格。
N<3
Cdw-30
I
30mm
中30
15mm
Cdw-45
I
45mm
中45
15mm
Cdw-60
I
60mm
中60
20mm
Cdw-80
I
80mm
中80
20mm
Cdw-100
I
100mm
中100
25mm
Cdw-150
I
150mm
中150
30mm
Cdw-200
I
200mm
中200
40mm
Cdw-250
I
250mm
中250
45mm
Cdw-300
I
300mm
中300
45mm
Cdw-350
I
350mm
中350
45mm
而ICDX-ML18CDX-ML30
得到的圈象
意见1
结果
(
0
1
-倒边
-不合格
-再研蘑