文档介绍：洁净室各项指标的检测
洁净室各项指标的检测方法、程序法则、判定标准
洁净室的检测主要分为：
风量和风速的检测
静压差的检测
洁净度的测定
微生物粒子的检测
安装高效空气过滤器后的检漏
污染泄露测试
气流流型试验
，则需重新调整新风量、排风量，直至合格为止
洁净度测定
《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）中规定如下：
检测规则
测定洁净度的最低限度采样点睡按下表规定确定。每点采样次数不低于3次，各点采样次数可以不同
最低限度采样点数
面积
洁净度
100级及高于100级
1000级
10000级
100000级
＜10
2 -- 3
2
2
2
10
4
3
2
2
20
8
6
2
2
40
16
13
4
2
100
40
32
10
3
200
80
63
20
6
400
160
126
40
13
1000
400
316
100
32
2000
800
633
200
63
注：表中的面积含义是：对于单向流洁净室，是指送风面面积，对于乱流洁净室，是指房间面积。
最低限度采样量（L）
级别
粒径（μm）

1
1
17
85
198
566
10

100

1000

85
10000

100000

测定洁净度的最小采样量按下表规定确定
对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向；对于乱流洁净室，采样口宜向上。采样速度均应尽可能接近室内气流速度。也即参考“等速采样”
洁净室测点的布置原则是：多于5点时可分层布置，但每层不少于5点；5点或5点以下时，（如下图），或该平面上的两个过滤器之间的地点，也可以在人为需要布点的其他地方。
五点测点布置图
数据整理
室内洁净度按公式计算室平均含尘浓度N和各测点平均含尘浓度的标准误差
评定标准如测定的状态（空态、静态、动态）与事先约定的状态相同，则以其级别上限作为评定标准。
如测定时为空态或静态，则动态时粒子数一定会高。所以，如用静态检测代替动态检测则粒子数会偏小，有时可以用静态粒子数的3-5倍来估计动态情况。当然这也仅是经验参考值
注意事项
测定时进入洁净室的人员要穿洁净服（有风淋室要经过风淋），在室内尽量处于下风处，最多进入两人。
粒子计数器一般均有一个开机后预热稳定的过程（时间因机型而异）注意按仪表说明书操作。
一般粒子计数器均有“粒子校准”这一旋钮，在使用前必须校准，使用一段时间（-1h）后均需进行检查。严禁故意将灵敏度调低的不正当做法
每个测点测完后需要移机（或移动采样口）时，要有一个稳定过程，一般为1-5分钟，也可以将移机后前几次打印结果弃去。
有研究结果表明打印机本身的动作有一定的产尘量，故在测量高级别洁净室时，要考虑到打印机纸张发尘的影响。建议选取可存储数据的仪器，实验结束后再把结果打印出来；或将连线延长，将打印机置于被测洁净室外。
在粒子计数器中反应得粒径，知识“光散射等效粒径”，因为计数器时用洁净大气尘密度的聚苯乙烯小球（标准粒子）来标定的。所以在实例中凡是与某种直径标准粒子的光散射特性相同的灰尘就被记录为该粒径的粒数，而不能真正代表该灰尘的真实外形和理化性能，而这个方面，还得在采样后靠显微镜（电子显微镜）和微量（痕量）理化分析来解决。
目前的粒子计数器都存在一个“上限浓度
”的问题，由于仪器本身构造的原因，如抽气流速过大，会有可能两个或多个粒子同事进入散射光区域，此时会合并基础一个粒径偏大的粒子，从而造成测量的重叠误差。如实测环境含尘量超过上限浓度，则应采用稀释器稀释后再测。
微生物粒子检测
本实验室不涉及微生物粒子检测，此处不做详述
安装高效过滤器的检漏
高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定对其进行性能试验（其检测方法如DOP试验、NaCl试验、油雾试验等），并提供合格证（含性能检测结果）。
对于5级（100级）以上洁净室用高效过滤器、超高效过滤器在现场应再次进行高效过滤器本体及其正确安装状态进行泄露试验。对于6级及以下的生物洁净室也用此方法啊检漏。而在大规模集成电路生产的超净技术中（，1级），由于新风量往往是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级（1000级）的程度，因此