文档介绍：单晶制绒设备培训PPT课件
第一页，共42页。
概 述
第一部分：单晶清洗设备的组成
第二部分：单晶清洗设备的开机
第三部分：单晶清洗设备操作
第四部分：单晶清洗设备的关机
第二页，共42页。
单除，若显示为红色，则需要对报警进行手动处理。
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单晶制绒设备运行及操作
进行手动处理时，在主菜单中点击手动按钮即可进入各手动画面：
点击“上升”“下降”“左移”“右移”按钮即可对机械臂进行移动操作。
点击“循环泵ON”按钮即可打开或关闭各循环泵，当标识显示为绿色时，即标识泵已打开。
机械臂手动画面
循环泵手动画面
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单晶制绒设备运行及操作
点击“左盖开”“右盖开”按钮即可打开盖板，标识显示为绿色即为打开状态，点击“左盖关”“右盖关”按钮即可关闭盖板。
点击各对应槽体的“阀ON”，打开阀门排液，在排液前需对排液时间进行设置。
槽盖手动画面
排水手动画面
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单晶制绒设备运行及操作
排水时间设置画面
手动加热画面
点击时间设置按钮进行各槽的排液时间设置，以S为单位。
点击“加热ON”按钮，对所对应槽进行加热，加热时“加热”标识显示为绿色。
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单晶制绒设备运行及操作
鼓泡加水手动画面
手动补液设置
点击“鼓泡阀ON”或“加水阀ON可对所需槽进行鼓泡或加水。
设置好补液量，手动按“ON”按钮对所需工艺槽DI水、NAHO、IPA进行补液
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单晶制绒设备运行及操作
第四步：确认无报警后，再点击“监控画面”检查设备槽体的温度、液位是否达到标准，监控显示的花篮要与槽体里的一致。
监控1
监控2
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单晶制绒设备运行及操作
若画面显示的花篮与槽体实际花篮不一致，可进入主菜单，点击“篮料强制”按钮，进入篮料设置画面。
点击画面中的“有”按钮，则会显示有篮，点击“无”显示无篮。
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单晶制绒设备运行及操作
第五步：进入“主菜单”，点击“系统启动画面”
在手动状态下按“回原点”，当出现OK后，将触摸屏下方的自动\手动开关切换到自动状态，按“自动启动”按钮，设备开始运行
系统启动画面
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单晶制绒设备运行及操作
第六步：将装好硅片的料篮放于上料台后，按开始按钮，即进行生产。
开始
按钮
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单晶制绒设备的关机
1. 确保槽内无花篮；
2. 将设备切换到手动状态，通过触摸屏排掉槽内液体，并加DI水清洗干净；
、纯水预热槽电源开关；
、氮气、压缩空气阀门。
主电源
主电源
制绒机电控柜
预热槽电控柜
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酸洗、去PSG设备开机运行操作及关机
酸洗、去PSG开机前检查、运行操作及关机请参照制绒机。
酸洗设备
去PSG设备
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甩干机
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甩干设备开机前检查
压缩空气、氮气、纯水：
阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力4-6bar。
DI水阀
CDA阀
N2阀
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甩干机运行及操作
第一步：打开电源开关，在触摸屏“参数设置”画面中设置工艺参数，并点击“低温开”、“高温开”按钮。
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甩干机运行及操作
第二步：等待温度控制器上的温度显示达到设定值；
第三步：点击“开门”按钮，打开盖板，放入装载硅片的片盒后，双手按住“关门”按钮，直至盖板关到位；
第四步：按“运行”按钮进行工作；
第五步：甩干结束，蜂鸣器响后按“开门”按钮，打开盖板取出片盒。
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甩干机的关机
1、打开盖板确认旋转盘内无片盒；
2、关闭盖板，将电源开关切换到关的状态；
3、打开电控柜门，关闭电源
4、关闭DI水\N2\CDA阀门
电源开关
电控柜内总电源
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中联酸洗机
中联酸洗机比较与JJC酸洗机除多了自动烘干功能外，其它工艺均一致。
开机检查及关机参照制绒设备。
正面图
背面图
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中联酸洗机
热风烘干系统
加热鼓风设备
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中联酸洗机的运行操作
打开电源后，按触摸屏下方的“电源启动”按钮，启动后按“运转准备”按钮，等待触摸屏进入操作主画面。
电源启动
运转准备
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中联酸洗机的运行操作
主画面
进入“主画面”后，按屏幕右下角的“菜单栏”，即进入菜单，对设备各项功能、工艺参数进行设置。
菜单栏
点击菜单栏的各项功能，可进行开关盖板、机械臂手动移