文档介绍：直拉单晶操作规程
拉晶工艺流程包括拆炉——.清炉 ——清理石墨件——.装炉——抽空——冲氩气——熔硅——引——放肩—— 转肩——,投自动——等径——,收尾——,停炉
拆炉:先拧开副室门螺丝,打开副室氩气阀门充气,待真空表压力到零位置直拉单晶操作规程
拉晶工艺流程包括拆炉——.清炉 ——清理石墨件——.装炉——抽空——冲氩气——熔硅——引——放肩—— 转肩——,投自动——等径——,收尾——,停炉
拆炉:先拧开副室门螺丝,打开副室氩气阀门充气,待真空表压力到零位置时,炉内外气压平衡,开启副门,把晶棒升至副室内, 升起炉筒,转炉筒时必须把托盘移至副室以下, 移至取晶框上,稳定晶棒后, 径,用钳子把细径剪断,（防止钢丝绳转圈后松开.）然后取出导流筒,保温盖,三瓣埚,石墨托盘,托杆,送至清石墨件房,待自然冷却后进行清理, 特别注意托杆上有无硅点情况,（防止没有清理干净,与托杆护套摩擦在拉晶过程中液面抖动.）
清炉与清石墨件:清理炉子的副室炉筒,小副室,炉盖,炉筒,用长纤维纸,酒精把以上部位全部探擦拭干净,做到长纤维纸擦拭过后无污迹,清排气口,以免造成排气口堵塞,挥发物过多;用吸尘器吸干净保温罩与加热器上下的挥发物,吸净碳毡上的毡毛。需保证在晶体的生长过程中尽量避免不起毛，无挥发物等杂质进入料中。清理石墨件的时候必须注意观察石墨埚的厚度，能不能达到要求，是否有裂纹等。把石墨件上的挥发物与一些杂质清理干净。注意：清理石墨件的时候必须注意轻拿轻放，防止造成内裂！
装炉：炉前人员必须检查核对所装炉的原料与母合金，是否准确无误。检查石英埚，保证无大量气泡群，无损伤，内表面无黑点。把石墨件按次序装入炉内，穿好防尘服，戴好防尘帽，戴上棉手套与一次性手套，把坩埚装入石墨埚内，给上埚转，观察坩埚是否水平，保证水平的情况下才能装炉。装料时必须轻拿轻放，先在底部平铺一些小硅料，然后把一些大块的料轻放在中间，在把一些小料放在大块料的中间，填大料缝隙。避免小料与坩埚接触面积过大，这样容易造成料粘埚边上导致石英埚变形。把硅料装好后，在把导流筒用长纤维纸与酒精擦拭一边。给上埚转后把埚降至化料埚位。然后装入导流筒，避免与硅料的接触。检查无误后，擦净主炉室，副炉室，小副室的密封圈面，然后合上炉盖与副室，稳定籽晶后关上副室门。
抽空：打开真空泵，缓慢的打开球阀，听抽气时的声音，等稳定后完全打开球阀。
冲氩气：在抽空过程中须导入几次氩气，这样使抽空的时间减短。可以带走炉内的湿度。
熔硅料：在加热之前必须先充氩气，然后在加热，第一次的功率在25KW左右，待过半个小时后把功率升至50KW左右，再过半个小时后把功率升至化硅功率。总共分三次加上。适当的时候给点埚转，让其均匀受热。化料的过程中要注意挂边现象。化完料，有杂质在液面上的时候须提出，然后进行挥发。整个化料过程中必须注意功率的变化与电流的变化。
引晶：在引晶前必须预热5-10分钟。然后接触。除新籽晶外，已用过籽晶用细径试温，熔接（对每台炉的功率变化，欧陆变化，操
作工心里要有底）细径的直径在3-5mm 长度原理上是细径的7-8倍，但太阳能行业中普遍细径需达到130mm以上。引晶时的拉速达到2-8mm