文档介绍：放电离子化电流检测器的制造方法
放电离子化电流检测器的制造方法
本实用新型提供可精确计算管柱内试样气体的流量或者线速度的放电离子化电流检测器。设置有测定检测器主体(1)内的压力的压力传感器(7)。由于通过压力传感器(7)可正确地检测出检可变阻尼作为阻尼105、106的情况下，根据各个阻尼105、106的阻尼值或阻尼比值的变化，检测器主体101内的压力变化。由于根据管柱102的进口压力和出口压力计算柱流量和管柱线速度，在作为管柱102的出口压力的检测器主体101内的压力不明确的情况下，柱流量和管柱线速度不能精确地计算出来。
[0016]另一方面，在采用固定阻尼作为阻尼105、106的情况下，根据各个阻尼105、106的阻尼值或阻尼比值的变化，检测器主体101内的压力不会发生变化，但由于等离子体生成气体的流量变化或升温分析时的柱流量变化等原因，检测器主体101内的压力发生变化，因此不能精确的计算出柱流量和管柱线速度。即，即使调节比例控制阀107的开度使等离子体生成气体的流量为一定，也不能避免若干量的流量变化。又，升温分析时，由于管柱102的温度上升，柱流量随之减少。
[0017]不能精确算出管柱线速度的情况下，即使用同一个管柱102，以同样的管柱线速度进行分析，因试样保持时间不同，必须要再次探讨分析条件等。又，如升温分析的时候等那样，柱流量随着管柱102的温度变化而变动的情况下，由于流动在检测器主体101内的试样成分的浓度不能保持一定，因此不能以一定的灵敏度进行分析。
[0018]鉴于上述情况，本实用新型的目的在于提供一种能够精确计算出管柱内试样气体的流量或者线速度的放电离子化电流检测器。
[0019]解决课题的手段
[0020]本实用新型涉及的放电离子化电流检测器，其特征在于具有:中空状的检测器主体；管柱，所述管柱向所述检测器主体内供给试样气体；等离子体生成气体供给通路，等离子体生成气体供给通路向所述检测器主体内供给等离子体生成气体；等离子体产生部，所述等离子体产生部通过放电使等离子体成气体电离，而产生等离子体；离子化电流检测部，所述离子化电流检测部基于通过自等离子体的激发光而被离子化的试样气体中的试样成分，来检测离子化电流；排气通路，所述排气通路排出所述检测器主体内的气体，由于对通过的气体具有规定的阻尼，从而在所述检测体主体内产生压力；以及压力传感器，所述压力传感器测定所述检测器主体内的压力。[0021]根据这样的构成，因为能利用压力传感器正确地测定检测器主体内的压力，所以能够使用测定出的检测器主体内的压力值，精确地算出管柱内的试样气体的流量或者线速度。若能精确地算出管柱内的试样气体的流量或者线速度，则能够转用通过其他检测器进行分析时的分析条件，因此可使分析条件的研讨工作简略化。
[0022]上述放电离子化电流检测器也可进一步具有试样气体计算处理部，所述试样气体计算处理部可基于所述压力传感器所测定的所述检测器主体内的压力，进行计算所述管柱内的试样气体的流量或者线速度的处理。
[0023]根据这样的构成，通过基于压力传感器所测定的检测器主体内的压力，进行试样气体计算处理部的处理，能自动计算出管柱内的试样气体的流量或者线速度。因此，即使在因等离子体生成气体的流量变化或者升温分析时的管流量变化，检测器主体内的压力发生变化的情况下，管柱内试