文档介绍：基于saw传感器的检测装置制造方法
基于saw传感器的检测装置制造方法
本发明公开了一种能够实现对生物检测液密封且密封方式成本低、简单有效的基于SAW传感器的检测装置。该检测装置包括底板、基体、SAW晶片，所述底板上设置有检测电路；所述固定。
[0013]进一步的是，所述螺栓采用内六角圆头螺栓并且内六角圆头螺栓采用尼龙材料制作而成。
[0014]进一步的是，所述基体采用聚***丙烯酸甲酯材料制作而成。
[0015]进一步的是，所述压电基底采用S-T石英制作而成。
[0016]进一步的是，所述感应薄膜、输入叉指电极、输出叉指电极、输入电极、输出电极均米用Au材料制作而成。
[0017]进一步的是，所述密封圈采用硅胶材料制作而成。
[0018]本发明的有益效果是:通过在晶片槽的槽底设置环形槽，环形槽内设置密封圈，SAff晶片的感应薄膜朝向晶片槽的槽底并且所述密封圈与SAW的感应薄膜、晶片槽的槽底共同围成一个密闭的检测空间，环形槽的中部开有引流孔，所述检测空间通过引流孔与外界连通，在对生物检测液进行检测时，生物检测液通过引流孔流入检测空间内，由于检测空间是密闭的，使得生物检测液不会泄漏，同时可以保证检测结果更加准确，而且由于引流孔的存在，可以很容易的使生物检测液流入检测空间内，无需进行任何拆除工作，使用非常方便，另外，检测空间的密封采用密封圈受压产生，密封方式简单有效、成本低，再者SAW晶片放置在晶片槽内，可以有效防止SAW晶片在振动过程中发生位移。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是本发明所述的基于SAW传感器的检测装置的三维结构示意图；
[0020]图2为本发明所述的基于SAW传感器的检测装置的横截面示意图；
[0021]图3为本发明所述的SAW晶片结构示意图；
[0022]图4为本发明基于SAW传感器的检测装置的Sll传输特性图；
[0023]图5为本发明基于SAW传感器的检测装置的S12传输特性图；
[0024]图6为本发明基于SAW传感器的检测装置的S12延时特性图；
[0025]图7为本发明基于SAW传感器的检测装置的阻抗史密斯图；
[0026]图8为本发明基于SAW传感器的检测装置实际期间测试的理论与实际参数对照图；
[0027]附图标记说明:底板1、基体2、SAff晶片3、压电基底301、感应薄膜302、输入叉指电极303、输出叉指电极304、输入电极305、输出电极306、晶片槽4、导线槽5、环形槽6、密封圈7、引流孔8、螺栓9。
【具体实施方式】
[0028]下面结合附图对本发明的【具体实施方式】作进一步的说明。
[0029]如图1、2、3所示，该基于SAW传感器的检测装置，包括底板1、基体2、SAff晶片3，所述底板I上设置有检测电路；所述SAW晶片3包括压电基底301、感应薄膜302、输入叉指电极303、输出叉指电极304，所述感应薄膜302、输入叉指电极303、输出叉指电极304均设置在压电基底301的同一表面，所述输入叉指电极303、输出叉指电极304分别设置在感应薄膜302的两侧，所述输入叉指电极303上连接有用于接入外部信号的输入电极305，所述输入电极305与检测电路相连，所述输出叉指电极304上连接有