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ZYGO干涉仪使用说明
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1 目的
为了使员工正确熟悉的使用 ZYGO 干涉仪。本文详细说明了如何使用 ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2围
在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择 square）。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定围不能超出晶体。并在动态图像上方无晶体的空间，选择与待测晶体规格相近的区域，此区域将作为参考区域。
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图三
然后，点击下部选项中的BG Inc使该按钮变为BG EXC,锁定选择区，点击 Defin e，定义Acq。之后点击Test，选择Un fill，去除最后标定的参考区域，
图四
点击Define,定义Test （晶体测试区域丿。再点击Ref,选择Fill,添加最后标定的参考区域，点击Pick,然后用鼠标点击待测晶体区域边框，选择Un fill, 去除晶体待测区域，点击Defi ne,定义Ref （参考区域丿。
点击测试界面中左上角 Measure 按钮,系统进行自动测算。当监视器
中左下角出现Wedge sec （，记
录下此时即为晶体的平行度。测试完毕后关闭平行度测试操作界面,点击
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左上角 X 符号,退回到 ZYGO 主测试操作桌面。
平面度测试
（ALIGN/VIEW）使监视器处于排列状态。移除标准参考反射镜面，将晶体放置到样品支架上，调整晶体方向，使其反射回的光斑与十字分划线交点重合。完成后，按监视器遥控器上的显示切换键，使监视器处于浏览状态。点击 ZYGO 测试操作桌面中按钮进入平面度测试操作界面。
点击测试界面左上角的 Calibrate 按钮（如图五所示），在弹出的对话界面中点击Fringe按钮，对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
Data按钮（如图五所示丿，在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择 square丿。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定围不能超出晶体。点击Define,定义待测区域。
，系统进行自动测算。当监视器中左上角出现PV Wave (表示被测样品最高点与最低点之间的距离为 (如图六所示丿，。测试完毕
后关闭测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。
图六
图五

主要测试步骤如下：
(ALIGN/VIEW),使监视器处于排
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列状态。扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的最亮光斑与十字分划线交点重合。完成后 ,按监视器遥控器上的显示切换键
(ALIGN/VIEW)，使监视器处于浏览状态。按钮进入波面测试操作界面。
，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直于测试光(监视器中晶体边缘清晰可见丿。
，在弹出的对话界面中点击
Frin ge
按钮，对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
点击测试界面中左上角 Mask Data 按钮, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定围不能超出晶体。点击 Define，定义待测区域。
点击测试界面中左上角 Measure 按钮，系统进行自动测算。当监视器中左上角出现PV Wave （表示被测样品最高点与最低点之间的距离为，（如图五所示丿。测试完毕后关闭波面测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试