文档介绍：(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110639274 A
(43)
申请号 201910909382 .2
申请日 2019 .09离方法，其特征在于，用于权利要求9或10所述的光阻剥离设备，所述方 法包括：
通过剥离机构使用所述剥离机构的剥离液储罐中的剥离液对待剥离基板上的光阻进 行剥离，其中，所述剥离液储罐中的吸附过滤组件用于在剥离液经过所述吸附过滤组件时 对所述剥离液中的光阻碎片进行吸附过滤；
通过清洗机构对所述待剥离基板进行清洗，去除所述待剥离基板上残留的光阻和剥离 液；
通过风干机构对所述待剥离基板进行风干。
剥离液储罐、光阻剥离设备及方法
技术领域
[0001] 本申请涉及显示技术领域，特别涉及一种剥离液储罐、光阻剥离设备及方法。
背景技术
[0002] 显示产品的制程通常包括前段制程、中段制程和后段组装制程，前段制程主要用
于在基板上制作功能图形。在前段制程中，首先在基板上沉积薄膜并在薄膜上涂覆光阻，接 着对光阻依次进行曝光和显影得到光阻图形，然后在光阻图形的遮挡下对薄膜进行刻蚀， 最后通过光阻剥离设备剥离光阻图形，得到功能图形。
[0003] 相关技术中，光阻剥离设备通常包括剥离液储罐、过滤器、抽液泵和剥离室，过滤
器的出液口与剥离液储罐的进液口连通，剥离液储罐的出液口与抽液泵的进液口连通，过 滤器的进液口和抽液泵的出液口均位于剥离室内，抽液泵用于将剥离液储罐中的剥离液抽 出并喷洒至剥离室内的待剥离基板上对该待剥离基板上的光阻进行剥离，过滤器用于对从 剥离室流向该过滤器的剥离液进行过滤，并将过滤后的剥离液导入剥离液储罐，以对剥离 液进行回收并再次利用。
[0004] 但是，过滤器的过滤效果较差，导致过滤后的剥离液中仍残留有较多的光阻碎片， 在对过滤后的剥离液再次利用时，该剥离液中的光阻碎片容易残留在基板上，影响显示产 品的良率和品质。
发明内容
[0005] 本申请实施例提供了一种剥离液储罐、光阻剥离设备及方法，有助于提高显示产
品的良率和品质。所述技术方案如下：
[0006] 第一方面，提供了一种剥离液储罐，所述剥离液储罐包括：
[0007] 罐体，以及，固定在所述罐体内的吸附过滤组件，所述罐体上设置有进液口和出液 口，所述吸附过滤组件位于所述进液口与所述出液口之间；
[0008] 所述吸附过滤组件包括吸附层，所述吸附层用于对从所述进液口进入所述罐体并
流向所述出液口的剥离液中的光阻碎片进行吸附。
[0009] 可选地，所述吸附层的材料为大孔吸附树脂。
[0010] 可选地，~ 1 .5微米。
[00H] 可选地，所述吸附过滤组件还包括：至少两层过滤层，所述至少两层过滤层中每相
邻的两层过滤层之间设置有所述吸附层。
[0012] 可选地，所述过滤层的滤孔的形状包括：圆形或多边形中的至少一种。
[0013] 可选地，~ 1 .5毫米。
[0014] 可选地，所述吸附过滤组件包括：两层所述过滤层，所述过滤层为过滤网。
[0015] 可选地，所述进液口位于所述罐体的侧壁上，所述出液口位于所述罐体的顶面上，
所述吸附过滤组件固定在所述罐体的内壁上，且所述吸附过滤组件与所述罐体的底面平 行。
[0016] 第二方面，提供了一种光阻剥离设备，所述光阻剥离设备包括：剥离机构、清洗机 构和风干机构，所述剥离机构包括第一方面任一所述的剥离液储罐，
[0017] 所述剥离机构用于使用所述剥离液储罐中的剥离液对待剥离基板上的光阻进行
剥离，其中，所述吸附过滤组件用于在剥离液经过所述吸附过滤组件时对所述剥离液中的 光阻碎片进行吸附过滤；
[0018] 所述清洗机构用于在所述剥离机构对所述待剥离基板上的光阻进行剥离后，对所
述待剥离基板进行清洗，去除所述待剥离基板上残留的光阻和剥离液；
[0019] 所述风干机构用于在所述清洗机构对所述待剥离基板进行清洗之后，对所述待剥
离基板进行风干。
[0020] 可选地，所述剥离机构、所述清洗机构和所述风干机构沿目标方向排布，
[0021] 所述剥离机构包括：m个过滤器、m+1个所述剥离液储罐、m+1个抽液泵和沿所述目 标方向排布的m+1个剥离室，所述m为大于或等于1的整数，
[0022] m+1个所述剥离液储罐的出液口与m+1个所述抽液泵的进液口一一对应连通，m+1
个所述抽液泵的出液口 ——对应位于m+1个所述剥离室内，m个所述过滤器的进液口 ——对 应位于沿所述目标方向排布的后m个所述剥离室内，m个所述过滤器的出液口与m+1个所述 剥离液