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CN111505900A-掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法.docx

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CN111505900A-掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法.docx

上传人:sssmppp 2022/6/14 文件大小:100 KB

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文档介绍

文档介绍:(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111505900 A
(43)
申请号 202010496108 .X
申请日 2020 .06根据权利要求10所述的清洁方法,其特征在于,还包括:
在清洁棒清洁模式下,控制所述移动机构将所述掩膜板的清洁装置移动至清洁棒的清 洁装置的上方;所述清洁系统还包括所述清洁棒的清洁装置;
控制位于所述清洁棒的清洁装置上方的所述驱动机构,移动所述清洁棒的粘头到设计 位置处,以使所述清洁棒的粘头与所述清洁带相接触;通过所述动力轮组带动所述清洁带 转动。
掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法
技术领域
[0001] 本申请涉及OLED显示技术领域,具体而言,涉及一种掩膜板的清洁装置、清洁系统
及清洁方法。
背景技术
[0002] AMOLED(Active-Matrix Organic Light-Emitting Diode ,有源矩阵有机发光二 极体)显示屏广泛用于智能手机、平板电脑、电脑和电视等终端产品。在AMOLED蒸镀工艺中, 保证金属掩膜板的洁净度对产品的良率提升至关重要。
[0003]目前,为保持金属掩膜板的洁净度,可以通过激光修复掩膜板表面的污染物 Particle,例如清除金属掩膜板表面的灰尘或者颗粒等。但是由于金属掩膜板在长期循环 使用过程中,且所处环境较复杂时,会导致掩膜板表面污染物Particle的形状和种类较为 复杂,只通过单一的激光功能来修复效果并不理想,从而影响产品的良率提升。
发明内容
[0004] 本申请针对现有方式的缺点,提出一种掩膜板的清洁装置、清洁系统及清洁方法,
用以解决现有技术存在掩膜板修复效果不理想的技术问题。
[0005] 第一个方面,本申请实施例提供了一种掩膜板的清洁装置,包括清洁棒、支架、夕卜 壳、推杆以及驱动机构;
[0006] 清洁棒包括棒体和粘头,粘头设置于棒体的一端;
[0007] 外壳为两端开口的中空筒,外壳固定于支架上,清洁棒至少部分容纳于外壳内且 与外壳相分离;
[0008] 推杆的一端与棒体远离粘头的一端连接,推杆的另一端与驱动机构的动力输出端
连接,推杆用于在驱动机构的驱动下推动清洁棒相对外壳移动,使得粘头、或者粘头和棒体 的一部分伸出外壳。
[0009] 在其中一个实施例中,推杆包括推杆本体和推杆连接部,推杆本体容纳于外壳内
且与外壳相分离,推杆本体与棒体远离粘头的一端连接,外壳一端侧壁设置有滑孔,推杆连 接部从滑孔伸出,推杆连接部与第一驱动机构的动力输出端连接。
[0010] 在其中一个实施例中,所述掩膜板的清洁装置还包括弹簧。
[0011] 外壳内固定设置有挡板,挡板中开设有供清洁棒穿过的通孔,弹簧设置于挡板与
推杆本体之间。
[0012] 在其中一个实施例中,驱动机构包括连接杆、丝杆和电机,
[0013] 电机的动力输出轴与丝杆的一端固定连接,丝杆设置有外螺纹,连接杆的一端设
置有与外螺纹相适配的内螺纹孔,连接杆远离内螺纹孔的一端作为驱动机构的动力输出 JllLi V而。
[0014] 在其中一个实施例中,丝杆的两端均设置有挡止部。
[0015] 在其中一个实施例中,连接杆远离内螺纹孔的一端延伸形成嵌合连接部,嵌合连 接部设置有容纳腔,外壳靠近滑孔一端位于容纳腔内,嵌合连接部与推杆连接部连接。
[0016] 在其中一个实施例中,外壳靠近滑孔的一端设置有壳盖,壳盖位于容纳腔内且与
外壳可拆卸连接。
[0017] 第二个方面,本申请实施例提供了一种清洁系统,清洁系统包括控制器、移动机构
以及如上述的掩膜板的清洁装置;
[0018] 移动机构的控制端与控制器通信连接,移动机构的移动端与掩膜板的清洁装置中 的支架固定连接,移动机构用于在控制器的控制下,将掩膜板的清洁装置移动至掩膜板的 上方;
[0019] 掩膜板的清洁装置中驱动机构的控制端与控制器通信连接,驱动机构用于在控制 器的控制下,移动位于掩膜板上方的掩膜板的清洁装置中清洁棒的粘头,使得粘头与掩膜 板接触。
[0020] 在其中一个实施例中,所述清洁系统还包括:
[0021] 清洁棒的清洁装置,包括清洁带和动力轮组;清洁带套设于动力轮组外围,用于在
动力轮组的驱动下,对移动至设计位置处的掩膜板的清洁装置的粘头进行清洁。
[0022] 第三个方面,本申请实施例提供了一种清洁方法,采用如上述的清洁系统,清洁方
法包括:
[0023] 在掩膜板清洁模式下,控制移动机构将掩膜板的清洁装置移动至掩膜板的上方;
清洁系统包括掩膜板的清洁装置;
[0024] 控制位于掩膜板上方的掩膜板的清洁装置中的驱动机构