文档介绍：可切换式探针卡的制作方法
可切换式探针卡的制作方法
本发明提供了一种可切换式探针卡，包括：包括多根探针；其中每根探针都用于连接测试机台和被测试结构；其中在每根探针的从测试机台到被测试结构的走线上都布置有支路选择装置，用于将每根探针的从测试结构，其中在每根探针的从测试机台到被测试结构的走线上都布置有支路选择装置，用于将每根探针的从测试机台到被测试结构的走线在配置有探针电阻的支路和未配置有探针电阻的支路之间进行切换。
[0026]具体地说，如图1所示，所述支路选择装置包括:连接至测试机台和被测试结构中的一个的选择单元以及连接至测试机台和被测试结构中的另一个的支路单元。其中，支路单元包括未连接探针电阻的第一分支和连接探针电阻的第二分支。第一分支的第一端和第二分支的第一端均连接至测试机台和被测试结构中的所述另一个。
[0027]而且其中，选择单元可以选择性地连接至第一分支的第二端或第二分支的第二端，从而在从测试机台到被测试结构的走线中分别形成配置有探针电阻的支路和未配置有探针电阻的支路。
[0028]优选地，所述可切换式探针卡的所述多根探针的所述支路选择装置被联动控制，即所有多根探针的支路选择装置统一地连接至配置有探针电阻的支路，或者统一地连接至未配置有探针电阻的支路。这样，在测试时可很方便地统一配置电阻或统一不配置电阻。
[0029]或者可选地，优选地，所述可切换式探针卡的所述多根探针的所述支路选择装置可单独控制，即，可以使得一部分探针的支路选择装置连接至配置有探针电阻的支路，同时一部分探针的支路选择装置连接至未配置有探针电阻的支路。这样，在测试时可根据具体情况进行选择。[0030]例如，在图3所示的情况下为:第一选择单元B1、第二选择单元B2、第三选择单元B3、第四选择单元B4、第五选择单元B5、第六选择单元B6、第七选择单元B7、第八选择单元B8、第九选择单元B9、第十选择单元B10、第十一选择单元Bll和第十二选择单元B12。
[0031]例如，在图3所示的情况下，上述十二个选择单元相应地对应于:第一支路单元(其第二分支配有第一探针电阻R1)、第二选择单元(其第二分支配有第二探针电阻R2)、第三选择单元(其第二分支配有第三探针电阻R3)、第四选择单元(其第二分支配有第四探针电阻R4)、第五选择单元(其第二分支配有第五探针电阻R5)、第六选择单元(其第二分支配有第六探针电阻R6)、第七选择单元(其第二分支配有第七探针电阻R7)、第八选择单元(其第二分支配有第八探针电阻R8)、第九选择单元(其第二分支配有第九探针电阻R9)、第十选择单元(其第二分支配有第十探针电阻R10)、第十一选择单元(其第二分支配有第十一探针电阻Rll)和第十二选择单元(其第二分支配有第十二探针电阻R12)。
[0032]在一块探针卡的每根针上实现可以随意切换是否串接电阻，本发明的探针卡就可以满足目前两种探针卡的测试需求，每根针可以随时切换串或不串接电阻，既方便又节约成本。
[0033]更具体地，图4示出了本发明实现的一种具体方法，其中将选择单元实现为一个电阻切换开关，例如单刀双掷开关。
[0034]具体地，图4示意性地示出了根据本发明实施例的可切换式探针卡的具体结构的一个示例的示意图。其中。在每根针的连接线路上装上一个电阻切换开关，来选择有无电阻的不同线路，从而