文档介绍：激光散斑干涉实验
摘要:激光散斑测量法是在全息方法基础上发展起来的一种测量方法，这种方法具有很强的实用价值。散斑位移测量不仅可以实现离面微位移的测量，也可以进行面内微位移测量。主要是对面内微位移进行了测量研究，利用设计的测量系统将物的等间距平行线，称为杨氏条纹图。
3)离面位移(形变)的散斑测量
设Al、A2分别是被测场Ml与参考面M2产生的散斑场在P点上的振幅。P点合振幅为A1+A2，强度取决于A1、A2的位相。当物体Ml位移(或变形)后，若位相差的改变为2n、4n, 相应的光程差改变为入，2入，变形前后的散斑场强度一致，称为相关。若光程差改变为入/2, 3入/2, ，亮散斑变成暗
散斑，称为不相关。将变形前后的图像拍下来，对两幅散斑图像进行相减，可得相关位移信息。

搭建并调整实验系统
按照实验光路图在光学平台上搭建主观散斑记录光路，并调整系统共轴，要求激光束与台面平行，并用针孔滤波器对光束进行滤波后，照明待测物体。
说明：接收器采用 CCD 器件，由 CCD 器件采集的光强信息经过采集卡进行 AD 变换，将模拟信号变成数字信号，再显示在计算机屏幕上，此数字信号同时存入计算机硬盘上便于数据处理。
拍摄散斑图
A、采用前面已调整好的主观散斑记录光路，将毛玻璃作为待测物体，物光束经成像透镜投射到CCD表面，由CCD拍摄的散斑图显示在计算机屏幕上。前后移动 CCD,仔细观察散斑场的分布情况，重点注意散斑的对比度、形状和大小与照明条件的关系等，继而得到对激光散斑的定性认识；
B、将毛玻璃换作名片、请柬重复以上实验。
散斑干涉测量
A、测量微小面内位移利用前面已经调整好的主观散斑的拍摄光路，将毛玻璃更换为待测物，物光束经
成像镜头投射到CCD表面。调整物距，找到成像最清晰的位置并且固定待测物。利用待测物调整架上的千分头使待测物体在自身平面内做微小位移，用计算机上的图像采集程序控制 CCD 摄像机，对物体发生位移前后的散斑图进行记录并相减，通过散斑条纹计算散斑位移量，并与待测物体的手动位移量作比较。
B、测量微小离面位移
a 按照实验原理图搭建好光路，要求激光束与台面平行，各器件同轴等高，分光棱镜分出的物光均匀照射离面位移待测物，参考光经同光程反射后与物光波汇合同时进入CCD；
b 把圆形压力盒作为被测物，压力盒表面有微小的突起和回复，通过软件实时剪切，观察条纹的产生以及变化情况，据此定性分析圆形压力盒的表面实时突起变化的情况；
c 将圆形压力盒（变形物）换成刚性推板俯仰物，通过推动千分丝杆使推板前倾产生离面位移，观测条纹，通过软件定量计算俯仰板上各点较原位置的位移量，并通过丝杆读书计算验证。
（4）设计性实验
压电陶瓷的热变形测量：
通过对压电陶瓷施加不同的电压，、、、、，用软件实时剪切，观察条纹的产生以及变化情况，据此分析压电陶瓷的热变形情况。
3、结果与讨论
（1）等倾干涉
图1 图2 图3 图4
讨论：面内位移越大，等倾干涉条纹越密
(2)等厚干涉
实验数据:
图一
图二
图三
图四
图五
环数
10
8
6
4
3
表格：环数与离面位