文档介绍：使用气相色谱分析硅烷的取样系统及其方法
使用气相色谱分析硅烷的取样系统及其方法
本发明公开了一种使用气相色谱分析硅烷的取样系统及其方法。它包括进样系统、高纯氦气吹扫管线、样品快速置换管线、文丘里管真空发生装置、碱液吸收池，进样系统包括多为20%的NaOH溶液。
[0009]所述的步骤5)至步骤11)中，当压力调节阀发生堵塞时，通过打开第一抽真空阀替代第二抽真空阀实现对整个系统的抽真空操作。
[0010]%。
[0011]本发明与现有技术相比具有的有益效果是:本发明能对整个进样系统快速吹扫、彻底置换，避免各检测点样品切换分析时，在死角里的残留对分析的干扰；本发明系统和方法分析周期短，操作安全简便，能实现工业生产时高频次的分析要求。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是使用气相色谱分析硅烷的取样系统设计图；
图2是本发明的文丘里管原理示意图；
图3是硅烷标气I取样分析图谱；
图4是硅烷标气2取样分析图谱；
图中，氦气吹扫阀1、样品进样阀2、第一过滤器3、氮气阀4、第一压力表5、第二过滤器
6、第一抽真空阀7、压力调节阀8、第二抽真空阀9、第二压力表10、放空针型阀11、转子流量计12、进气相色谱针型阀13、六通定量阀14、
文丘里管15、碱液吸收池16，高纯氮气入口 A、喷嘴B、消音器C、吸附腔入口 D。
【具体实施方式】
[0013]如图1和图2所示，使用气相色谱分析硅烷的取样系统包括进样系统、高纯氦气吹扫管线、样品快速置换管线、文丘里管真空发生装置、碱液吸收池16，进样系统包括多条进样管线，每条进样管线包括第一过滤器3和样品进样阀2，样品进样阀2与第一过滤器3相连，高纯氦气吹扫管线包括顺次相连的氦气吹扫阀1、第二过滤器6、压力调节阀8、第二压力表10、进气相色谱针型阀13、六通定量阀14，样品快速置换管线包括放空针型阀11、浮子流量计12，放空针型阀11与浮子流量计12相连，浮子流量计12与碱液吸收池16相连，放空针型阀11与高纯氦气吹扫管线相连，连接点位于压力表10和进气相色谱针型阀13间的管线上，文丘里管真空发生装置包括氮气阀4、第一压力表5、第一抽真空阀7、第二抽真空阀9、文丘里管15，氮气阀4、第一压力表5、文丘里管15的高纯氮气入口 A顺次相连，文丘里管15的吸附腔入口 D分别与第一抽真空阀7、第二抽真空阀9相连，文丘里管15的喷嘴B与碱液吸收池16相连，第二抽真空阀9与压力调节阀8、第二压力表10之间的管线相连，第一抽真空阀7与第二过滤器6、压力调节阀8之间的管线相连，进样管线与氦气吹扫阀1、第二过滤器6之间的管线相连。
[0014]使用气相色谱分析硅烷的取样方法的步骤如下:
1)将高纯氦气钢瓶接入氦气吹扫阀I的前端，使用氦气吹扫阀I控制高纯氦气流量；
2)将工艺管线上的硅烷取样点接入取样系统，使用样品进样阀2控制开关，硅烷样品经过第一过滤器3除去硅烷样品中的粉尘，
3)打开氦气吹扫阀1、放空针型阀11及进气相色谱针型阀13，调节氦气吹扫流量为300ml/min,吹扫 Imin ；
4)将高纯氮气接入文丘里管真空发生装置，高纯氮气由氮气阀4控制开关，,使第一抽真空阀7、第二