文档介绍：一种超微量气体流量测量装置制造方法
一种超微量气体流量测量装置制造方法
本实用新型涉及超微量气体流量测量装置，其特征是：至少包括密闭腔体（3），在密闭腔体（3）内有气压温度传感器（4），气压温度传感器（4）通过密封接口（7）与密闭腔体外一种超微量气体流量测量装置制造方法
一种超微量气体流量测量装置制造方法
本实用新型涉及超微量气体流量测量装置，其特征是：至少包括密闭腔体（3），在密闭腔体（3）内有气压温度传感器（4），气压温度传感器（4）通过密封接口（7）与密闭腔体外的处理单元（6）电连接，密闭腔体（3）通过管道（2）与气体（1）的流通通道相通，密闭腔体（3）上有安全阀（5）。本装置不但可以测量超微量气体流量，而且也能安全测量高流量的气体流量，而且可低成本应用于通用气体流量测量，应用前景广泛。
【专利说明】认测量超微量气体流量，而且也能安全测量
量气体流量测量装置，其特征是:至少包括压温度传感器通过密封接口与密闭腔体外流通通道相通。
》有八/0的端口的处理器、键盘、电源电路、丈放大滤波电路后与处理器电连接，处理器号与八/0的端口电连接，处理器通过1/0 口电路包括电池和0(:/0(:电路，电池通过0以搭工作电压；显不器米用1X0显不器。
丨时测量气压与温度，81？085通过密封接口
1:进气管道通入密闭腔体，通过气压温度传分析、处理得到气体的流量值，数据处理显和显示器607工作电压。显示器607采用
1:管道通入密闭腔体，通过气压温度传感器1:理得到气体的流量值。
匕实例可直接采集气压部分数据，通过密封
量获取
丨密闭腔体内对于气压温度传感器中温度部1度波动对气压产生的扰动影响；或温度变
丈大时，释放密闭腔体3内的压力以保证安属本行业的公知部件和常用结构或常用手
【权利要求】
，其特征是：至少包括密闭腔体（3)，在密闭腔体（3)内有气压温度传感器（4 )，气压温度传感器（4 )通过密封接口（ 7 )与密闭腔体外的处理单元(6)电连接，密闭腔体（3)通过管道（2)与气体（I)的流通通道相通。
，其特征是：所述的密闭腔体（3)容量大于O. 3升。
，其特征是：所述的处理单元（6)包括放大滤波电路（601)、带有A/D的端口的处理器（602 )、键