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GBT1558-1997硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法.pdf

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文档介绍:,当
前 「

本标准等效采用 《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》对我国标准
��· ����
��� 半值宽度 ����������������������
��半峰高处的吸收带宽度。见图 ��
��� 参比样品 �����������������
��在本方法中,是指与被测试样的厚度及表面制备相同,载流子浓度不大于被测试样的载流子浓度,
碳浓度小于 ��������������������)的硅片,用于与被测试样进行参照和对比。


国家技术监仔局 ����一��一��批准 ����一��一��实施���� ���������









波数,�����

�����������������图 � 典型基线示意图

� 方法提要

��本方法利用硅中代位碳原子在波数为 �����������������)处的红外吸收峰的吸收系数来确定
代位碳原子浓度。

� 干扰因素

��� 投射到探测器的杂散光会降低吸收系数的计算值,从而降低碳原子浓度的报告值.
��� 参比样品和被测试样的温度必须相同,以避免与温度有关的晶格吸收对测量的影响。
��� 参比样品的碳浓度应小于 ���������������������,使参比样品造成的误差低于本方法最低检
测限的 �����
��� 为得到令人满意的测量结果,室温下碳吸收带的半值宽度必须小于 �����。仪器平衡调节不正确
或扫描速度太快都可能使半值宽度变宽。
��� 硅中双声子晶格吸收在 ������������)处很强,应采用无碳硅片作为参比样品,用差示法消除
该强晶格吸收带,才能在室温下测定碳的吸收光谱。
���

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上传人:钟梁 2022/6/22 文件大小:225 KB

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