文档介绍：，当
前 「
本标准等效采用 《硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法》对我国标准
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��� 半值宽度 ����������������������
��半峰高处的吸收带宽度。见图 ��
��� 参比样品 �����������������
��在本方法中，是指与被测试样的厚度及表面制备相同，载流子浓度不大于被测试样的载流子浓度，
碳浓度小于 ��������������������）的硅片，用于与被测试样进行参照和对比。
国家技术监仔局 ����一��一��批准 ����一��一��实施���� ���������
次
卜
哥
划
级
波数，�����
�����������������图 � 典型基线示意图
� 方法提要
��本方法利用硅中代位碳原子在波数为 �����������������）处的红外吸收峰的吸收系数来确定
代位碳原子浓度。
� 干扰因素
��� 投射到探测器的杂散光会降低吸收系数的计算值，从而降低碳原子浓度的报告值．
��� 参比样品和被测试样的温度必须相同，以避免与温度有关的晶格吸收对测量的影响。
��� 参比样品的碳浓度应小于 ���������������������，使参比样品造成的误差低于本方法最低检
测限的 �����
��� 为得到令人满意的测量结果，室温下碳吸收带的半值宽度必须小于 �����。仪器平衡调节不正确
或扫描速度太快都可能使半值宽度变宽。
��� 硅中双声子晶格吸收在 ������������）处很强，应采用无碳硅片作为参比样品，用差示法消除
该强晶格吸收带，才能在室温下测定碳的吸收光谱。
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