文档介绍：学院班级：机械096班
学号：20094410605
姓名：袁凯
[ZNXsensor]超精密电容位移传感器
该传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形 成一个平行板电容器，每个传感器可用在两个不用的测量得传感器电容总的相对变化,为传感器的相对非线性误差Y0为•不难 看出，变极距式电容传感器改成差动之后，不但非线性误差大大减小，而且灵敏度也提高了一倍。
.变面积式电容传感器 图6是变面积式电容传感器结构示意图，它由两个电极构成，其中一个为固定极板，另一个为可
动极板，两极板均成半圆形。假定极板间的介质不变(即电介质常数不变)，当两极板完全重叠时，其 电容量为 Co=/ A/d
当动极板绕轴转动一个a角时，两极板的对应面积要减小/A,则传感器的电容量就要减小/ C。如果我们把这种电容量的变化通过谐振电路或其它回路方法检测出来，就实现了角位移转换为电 量的电测变换。
电容式位移传感器的位移测量范围在1um-10mm之间，变极距式电容传感器的测量精度约为 2%。变面积式电容传感器的测量精度较高，其分辨率可达).3um。
电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所 共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响 宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研 究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可 缺少的测试仪器。目前主要类型为 ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-C II型、FW-C1 型。
电容位移传感器特点：
旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度；
往复机构的运动特性和重复定位精度；
正弦波激振和脉激振中振动测量；
机器零部件相对振动相对变形；
盘类零件的端面振摆；
轴承间隙和油膜厚度； 7•检测零部件尺寸和平直度；
线切割机床电极丝的振动；
机床主轴热位移与动态加载试验测量；
也可用于金属导体之外的绝缘物体（如大理石、塑料、砂轮、玻璃、陶瓷等） 的振动、位移测量。
电容位移传感器特点：
量程：初始间隙So与传感器电极板do
分辨率： 非线性：±%FSO 频带可调：50〜5000Hz 灵敏度可调：5〜125卩m/V 输出信号：0—± 零漂：＜±%FSO 电源：±15V
体 积：19cmx 12cmx 8cm
电容位移传感器使用方法：
1濒率校准
接好联线，将电极板拧入传感器探头头部，并使之远离物体，按下 “校准”键，这
时有电压输出，预热20分钟，调节“调零”旋扭，使输出回到零点。
2•安装传感器，调整初始间隙，进行测量
按下测量键，将传感器借助弹性夹套安装到磁表座（或用户自制专用夹具）上， 使测量电极板端面接近被测物体的表面，平面或圆柱面，尽可能平行，球面尽可能对 中，调整的初始间隙见表 1 （参考值），调整时有“+”电压输出，反时针转动传感器微 调螺母，使测量间隙逐渐增大，输出电压会逐渐接近零点，借助 “调零”旋扭细调，使
输出精确为o，调整时有“一”电压输出，顺时针转动微调螺母，使测量间隙逐渐减小，