文档介绍：新型气体限流装置的制作方法
专利名称：新型气体限流装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种质量流量控制装置，尤其涉及一种新型气体限流装置。
背景技术：
气体质量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)新型气体限流装置的制作方法
专利名称：新型气体限流装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种质量流量控制装置，尤其涉及一种新型气体限流装置。
背景技术：
气体质量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)由质量流量计、控制器组成，不但具有流量计的功能，还能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动的将流量恒定在设定值上。质量流量计由气体限流装置通道、流量传感器和放大电路等部件组成，在质量流量计的基础上，再加上比例调节阀和PID控制电路就构成了质量流量控制器。现有技术中的质量流量控制器包括计量装置和控制系统。如图I所示，计量装置包括气体通道，气体通道内设有气体限流装置I并设有分流口，分流口上设有传感器2，传感器2将检测到的流量信号输入给控制单元。通过测量分流口内的流量，控制单元换算出总的流量，根据换算结果向控制阀发出控制信号，控制阀口的开度大小，进而控制流量的大小。现有技术中的质量流量控制器，气体限流装置I 一般都是实心的，气体沿气体通道内壁与气体限流装置I外壁之间的间隙流动。上述现有技术至少存在以下缺点易产生紊流，气流稳定性差，严重影响了质量流量控制器的准确度和稳定性。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种结构简单、使用方便，并能有效的改善气流稳定性的新型气体限流装置。本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的本实用新型的新型气体限流装置，该装置的轴心部位设有通孔，所述通孔内设有分流管和/或分流柱。由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型所述的新型气体限流装置，由于该装置的轴心部位设有通孔，通孔内设有分流管和/或分流柱，当气体从通孔中流过时，能够有效的改善气流稳定性，结构简单、使用方便。
图I为现有技术中的气体质量流量控制器结构示意图；图2为本实用新型的新型气体限流装置的结构示意图。
具体实施方式
本实用新型的新型气体限流装置，其较佳的具体实方式如图2所示，气体限流装置I的轴心部位设有通孔3，所述通孔3内设有分流管和/或分流柱4。[0014]所述分流管为空心的管状，所述分流柱为实心的柱状，多根分流管和/或分流柱平行塞进所述通孔中，且多根分流管和/或分流柱与所述通孔配合。气体质量流量控制器