文档介绍：------------------------------------------------------------------------------------------------ ——————————————————————————————————————检测技术实验 3 扩散硅压阻式压力传感器、电容传感器、直流激励时霍尔传感器和反射式光纤位移传感器测量实验上海电力学院检测技术实验实验八压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理与方法。二、实验仪器压力传感器、气室、气压表、分压器、差动放大器、电压放大器、直流电压表三、实验原理扩散硅压力传感器的工作原理如图 8-1 ,在 X 形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流 i ,当敏感芯片没有外加压力作用, 内部电桥处于平衡状态, 当有剪切力作用时, 在垂直于电流方向将会产生电场变化 E 电压 Uo 。式中 d 为元件两端距离。实验接线图如图 8-2 所示, MPX10 有4 个引出脚, 1 脚接地、 2 脚为 Uo+ 、3 脚接+5V 电源、4 脚为 Uo- ;当 P1&gt;P2 时, 输出为正; P1&lt;P2 时,输出为负( P1与 P2 为传感器的两个气压输入端所产生的压强)。------------------------------------------------------------------------------------------------ —————————————————————————————————————— UO????i ,该电场的变化引起电位变化,则在与电流方向垂直的两侧得到输出( 8-1 ) ?d?E?d????i 图 8-1 扩散硅压力传感器原理图图 8-2 扩散硅压力传感器接线图四、实验内容与步骤 1. 按图 8-2 接好“差动放大器”与“电压放大器”,“电压放大器”输出端接数显直流电压表,选择 20V 档,打开直流开关电源。 2. 调节“差动放大器”与“电压放大器”的增益调节电位器到适当位置并保持不动, 用导线将“差动放大器”的输入端短接, 然后调节调零电位器使直流电压表 20V 档显示为零。 3. 取下短路导线, 并按图 8-2 连接“压力传感器”与“分压器”。 4. 气室的活塞退回到刻度“ 17”的小孔后, 使气室的压力相对大气压均为 0, 气压计指在“零”刻度处,将“压力传感器”的输出接到差动放大器的输入端, 调节 Rw1 使直流电压表 20V 档显示为零。 6. 实验结束后,关闭实验台电源,整理好实验设备。实验九扩散硅压阻式压力传感器差压测量一、实验目的了解利用压阻式压力传感器进行差压测量的方法。二、基本原理压阻式压力传感器的硅膜片受到两个压力 P1和 P2 作用时, 由于它们对膜片产生的应力正好相反,因此作用在膜片上是△ P=P1-P2 , 从而可以进行差压测量。三、需要器件与单元------------------------------------------------------------------------------------------------ ——————————————————————————————————————实验八所用器件与单元、压力气囊。四、实验步骤 1. 扩散硅压力传感器 MP × 10 已安装在压力传感器模块上, 将气室1、2 的活塞退到 20ml 处,并按图 4-1 接好气路系统。其中 P1端为正压力输入、 P2 端为负压力输入,P× 10有4 个引出脚,1 脚接地、 2 脚为 Uo +、3 脚接+5V 电源、4 脚为 Uo ﹣;当 P1> P2时, 输出为正;当 P1< P2 时,输出为负。 2. 检查气路系统, 分别推进气室 1、2 的两个活塞, 对应的气压计有显示压力值并能保持不动。 3. 接入+4V 、± 15V 直流稳压电源,模块输出端 Uo2 接控制台上数显直流电压表,选择 20V 档,打开实验台总电源。 4. 调节 Rw2 到适当位置并保持不动,用导线将差动放大器的输入端 Ui 短路, 然后调节 Rw3 使直流电压表 200mV 档显示为零, 取下短路导线。 5. 退回气室 1、2 的两个活塞, 使两个气压计均指在“零”刻度处,将 MP × 10 的输出接到差动放大器的输入端 Ui ,调节 Rw1 使直流电压表 200mv 档显示为零。 6. 保持负压力输入 P2 压力零不变, 增大正压力输入 P1 的压力, 每隔 记下模块输出 7. 保持正压力输入 P1 压力 不变, 增大负压力输入 P2 的压力,每隔 记下模 8. 保持负压力输入 P2 压力