文档介绍：------------------------------------------------------------------------------------------------ ——————————————————————————————————————蓝宝石抛光第 34 卷第 3期人 2005 年6月 RYSTALS June,2005 工晶体学报表面处理对蓝宝石衬底的影响王银珍, 彭观良, 刘世良, 李抒智,邹军, 周圣明,徐军( 中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800) 摘要: 蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料, 是生长 GaN 、 ZnO 材料最常用的衬底。本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM) 和高分辨 X 射线双晶射对蓝宝石衬底进行了分析测试, 系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响。结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好。关键词: 蓝宝石; 衬底; 表面处理中图分类号:O78 文献标识码:A 文章编号:10002985X(2005)0320431204 InfluenceofSurfaceTreatmentontheSapphireSubstrate ------------------------------------------------------------------------------------------------ —————————————————————————————————————— WANGYin2zhen,PENGGuang2liang,LIUShi2liang,LIShu2zhi,ZOUJun,ZHOU Sheng2ming,XUJun (ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechanics,ChineseAcademyofScience s,Shanghai201800,China) (Received8November2004) Abstract:monlyusedsubstrate,andiswidel tigatedbymeansofpolarizingmicroscope,AFMandX2raydouble2crystaldiffr ,chemic omechanicallypolishedandchemicallyetchedonthesurfacespropertiesofsa twithCMP,andthenchemicallyetchingarebest. Keywords:sapphire;substrate;surfacetreatment 1引言蓝宝石单晶具有许多优良的特性,如: 硬度高、熔点高、透光性良好、热传导性和电绝缘性