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项次   简称        英    文    名    称        中    文    说    明1 J 高压压缩干燥空气
                Clean Booth        无尘隔间
        C/R        Clean Room        无尘室9 \/ R. x: ?9 N# o, w9 r" d5 e8 _
设备/材料        GC        Gas Cabinet        气瓶柜( n$ w+ H. M; V$ O# J* m
        GR        Gas Rack        气瓶架/ D( H3 G0 z) }+ g1 Y' }2 o
        VMB        Valve Manifold Box        特气分流箱
        VMP        Valve Manifold Panel        特气分流盘) Q. r# i1 }1 K1 w" A
        T-Box        Tee- Box        化学分流箱- M: ^' ?, W2 }  t7 E
        SMB        Sample Box        化学取样箱* A, H: L5 L& u3 P
        DP        Distribuction Panel        惰气分流盘
        BSGS        Bulk Specialty Gas System        大宗特殊气体系统) y+ Q+ ?$ g8 s5 F! W5 w$ ^0 g
        HAPA         High Efficiency Particulate Air Filter        高性能空气过滤器
        ULPA        Ultra Low Penetration Air Filter        超高性能空气过滤器 
        SMIF        Standard Mechanical Interface        机械标准接口- d6 K, Y/ ?/ Z/ w! ~
        L/C        Load Cell (Scale)        磅秤
        EFS        Excel Flow Sensor        过流量计5 X* ^3 D3 S! D+ X7 J
        DPS        Differential Pressure Switch        差压计
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7 D1 r$ l; u4 s
        DPG        Differential Pressure Gauge        差压表: @! Q4 s7 \* x5 f. L* F
        EMO        Emergency Menual Shut-Of