文档介绍：目录
1、目的：4
2、适用范围：4
3、定义4
4、职责4
5、程序4
6、相关文件和记录14
7、附录14
5、程序
：
环境温度23±5°C,相对湿度40%~70%。
（T读数。
7•当丈量小于1欧的接地电阻时，应将2个E端的联结片打开，分别用导线联接到被测接地体上，以消除丈量时联接导线电阻的附加误差，操纵步调同上。
8•当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒拔出土壤中浅一些，当检流计灵
敏度过低时，可沿探棒注水使其湿润。
（3M-718/3M-718A）
1、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电发生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电发生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应大于“+1000V”。
2、在离子风机下不超出30cm处水平移动静电测试仪3秒钟（金属板向上），再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
3、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电发生仪（718A）金属端相连接，同时按下静电发生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键，测试仪显静电值应小于“-1000V”。
4、离子风机下不超出30cm处水平移动静电测试仪3秒钟（金属板向上），再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
5、在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。
注意：要求平衡电压为-40S平衡电压＜40V
（SAML1800）：
测试时，开关旋转至“1801FALL”档，SALM1801S-I的LED酿成红色，蜂鸣器发出报警声响；旋转开关至“1801PASS”档，SALM1801S-I的LED酿成绿灯，蜂鸣器停止发出报警声响。此为合格。
测试项目
静电接地极电阻测试
每半年使用ZC29B进行一次测试，要求静电接地极对地电阻小于1Q将测试结
果记录在《ESD点检记录表格》中。
设备、仪器接地电阻测试
每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次（新建工位或工位调整后要立即测试）测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Q。测试频率：每月。
电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗要小于10Q。测试频率：每天。
：每半年由厂务或指定人员对静电接地线的接地电阻进行检测。要求每条线都要测。测试方法：在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另
—端插在电源地线孔里。要求电阻值小于10Q。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
PE工程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，要求概况电阻1x105Q<Rs<1x1090（上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对裤脚、点对点测试），“每次全检，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
如检测到分歧格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服分歧格”
章，并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。IPQA监督有无分歧格静电服流入产线。
PE工程师或指定人员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求概况电阻在
1x105~1x109欧姆和接地电阻在1x106~1x109欧姆。每块工作台面测试3个点，将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试概况电阻一次，要求地板的概况电阻在〔UOsTTOgQ之间。每100平米地面测5个点（对于面积小于100平方米的独立区域如：IQC、RD实验室、来料仓，每个区域要测5个点）。~1米，测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在1*105-1*109。之间。测试方法：将EMI-20780的一个电极放在地板上，另一端拔出电源地线插孔里。每100平米测试1个点。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
（如：周转箱、周转车、货架）
由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次，要求摩擦电压小于
100V,周转箱概况电阻：1x103d1x1090,每次每种器具抽检，每1条线抽检10Pcs，如果有1Pcs分歧格则全检。测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
-20780测试仪测试一次，要求周转车，货架概况电阻小于1x109Q，接地电阻