文档介绍:薄膜晶体管概念 薄膜品体管(英语:Thin-FilmTransistor,缩写:TFT),是场效应晶体管的 种类之一,大略的制作方式是在基板上沉积各种不同的薄膜,如半导体主动层、 介电层和金属电极层。
TFT是在基板(如是应用在液晶显示器薄膜晶体管概念 薄膜品体管(英语:Thin-FilmTransistor,缩写:TFT),是场效应晶体管的 种类之一,大略的制作方式是在基板上沉积各种不同的薄膜,如半导体主动层、 介电层和金属电极层。
TFT是在基板(如是应用在液晶显示器,则基板大多使用玻璃)上沉积一层薄膜 当做通道区。
大部份的TFT是使用氢化非晶硅(a-Si:H)当主要材料,因为它的能阶小于单品 硅(Eg =),也因为使用a-Si:H当主要材料,所以TFT大多不是透明的。 另外,TFT常在介电、电极及内部接线使用钢锡氧化物(ITO),ITO则是透明的 材料。
因为TFT基板不能忍受高的退火温度,所以全部的沉积制程必须在相对低温下进 行。如化学气相沉积、物理气相沉积(大多使用溅镀技术)都是常使用的沉积制 程。如要制作透明的TFT,第一个被研究出来的方法是使用氧化锌材料,此项技 术由奥勒岗州立大学的研究员于2003年时发表。
很多人都知道薄膜品体管主要的应用是TFT LCD,液品显示器技术的一种。品体 管被作在面板里,这样可以减少各pixel间的互相干扰并增画面稳定度。大略是 从2004年开始,大部份便宜的彩色LCD屏幕都是使用TFT技术的。连在乳线和 癌症X-ray检查的数位X-ray摄影技术上也很常使用TFT面板。
新的AMOLED (主动阵列OLED)屏幕也内建了 TFT层。: