文档介绍：:.
TCAD速成手册
第1章:简介
该指南手册针对首次应用SILVACOTCAD软件的新用户。它旨在帮助新用户在几分TCAD速成手册
第1章:简介
该指南手册针对首次应用SILVACOTCAD软件的新用户。它旨在帮助新用户在几分钟时
间内快速并成功安装和运行该软件。
该指南也演示如何快速有效查看手册,查找仿真器中使用的所有参数的解释和定义。它也参
照相应章节,来理解等式以及其使用的根本规则。
关于进一步的阅读和参考,用户可参照SILVACO网站的技术支持部分,那里有丰富的技
术材料和发表文献。
第2章:快速入门
:DeckBuild运行时间环境窗口
"DeckBuild"是富含多样特征的运行时间环境,它是快速熟悉SILVACO的TCAD软件的关
键。Deckbuild主要特征包括:自动创建输入文件、编辑现有输入文件,创建DOE,强大
的参数提取程序和使得输入文件中的参数变量化。
更重要的是,DeckBuild包含好几百个范例,涵盖多种电学、光学、磁力工艺类型,便于首
次使用该工具的用户。
使用入门
用户可打开一个控制窗口,创建一个目录,用于保存该指南范例将创建的临时文件。例如,
要创建或重新部署一个名为"tutorial,"的目录,在控制窗口键入:
mkdirtutorialcdtutorial然后键入下列命令开启deckbuild运行环境:
deckbuild
。
GUI界面包括两部分:上部窗口显示当前输入文件,而下部显示运行输入文件时创建的输
出。
:载入和运行范例
输入文件可以由用户创建或者从范例库中加载。为了熟悉软件语法,最好载入第一个实例
中范例。要从deckbuild运行时间环境的GUI载入范例,可点击:MainControl...Examples(范例)...
屏幕将弹出一个窗口显示一列47个类别的范例。。要查看剩余
的类别,则使用窗口右侧的滑动条滚动选择。
只需双击该类别,即可查看每个类别的范例。如果双击首个类别"MOS1:MOSApplication
Examples,"。该类别有15个范例。
双击任何期望的范例,即可查看其解释。双击首个范例"NMOS:Id/VgsandThresholdVoltage
Extraction",可查看该范例的解释。。滚动拉下窗口可浏览全部解释。
为了在DeckBuild运行环境中载入特定范例,点击"DeckBuild:Examples"窗口右上部的
"LoadExample"按钮。。图已载入输入文件
按下"run"按钮即可运行范例。运行完成后,屏幕出现两个图。第一个为显示仿真过程中网
路掺杂的彩色轮廓图,第二个则是简单的阈值电压Vg相对Id图。
。一旦选中"LoadExample"按钮,结构文件和线图既加载在当前工作目录中,
因此不必运行仿真即可浏览结果。
:查看结果
SILVACO的浏览工具"TonyPlot"是一个功能丰富的绘图工具。该指南中仅介绍它的某些基本
性能。当SILVACO的TCAD软件包中保存一个结构文件或一个线图时,创建结构文件或线
图的所有参量将自动包含仅该文件,供绘图之用。
例如在结构文件绘图中,如果想要绘制其他变量如"DonorConcentration",则如下点击:
Plot...Display...Define...Contours...
然后向下滚动选择"Quantity:"方框,得到一组可绘制变量。如果按照该顺序执行,将出现两个另外的GUI显示,。选择新的参量并点击"Apply"。
图选中可绘制变量的相关
:.
TCAD速成手册
第1章:简介
该指南手册针对首次应用SILVACOTCAD软件的新用户。它旨在帮助新用户在几分钟时
间内快速并成功安装和运行该软件。
该指南也演示如何快速有效查看手册,查找仿真器中使用的所有参数的解释和定义