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单相Ag2O光存储和磁光存储薄膜的射频磁控溅射研究.pdf

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单相Ag2O光存储和磁光存储薄膜的射频磁控溅射研究.pdf

文档介绍

文档介绍:·::.琙
学位论文作者:马批学位论文作者:乃衙日期:孔//年如多同同期:历//年歹月多学位论文使用授权声明原创性声明本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。本人在导师指导下完成的电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权郑州大学可以将本学位论文的全部或部分编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或者其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该学位论文直接相关的学术论文或成果时,第一署名单位仍然为郑州大学。保密论文在解密后应遵守此规定。
备了一系列的薄膜。媸保票傅腁∧ぞ氏殖隽己玫裼湃∠颉K孀哦〈℃升高到妫珹∧さ慕峋饔诒洳睢随着脑龃螅珹∧∧さ谋砻娼峁姑飨猿氏至舜泳取⒅旅艿谋砻娼峁瓜蚴杷伞⒒炻沟壑结构的演变。薄膜透明区的反射率和透射率随丁的逐渐增大逐渐降低,而吸收率逐渐增高。随着,的增大,制备的薄膜的光学带隙尾,芴宕肦技术,在琍奶跫峦ü谋銸制备了一系列的薄膜,其中条件下制备的单相薄膜的质量最好,该薄膜具有明显的裼湃∠颉K孀臤的增加,薄膜的减小到.。
较虻钠骄Я3叽绱,而薄膜的电导率在不断地下降大小保持在氖考丁1∧ぴ诮焱馇耐干渎示ィ在可见光区域急剧下降。薄膜的光学带隙在柚饬康耐衷财窆馄祝⒗猛ㄓ谜褡幽P包括鯰甃振子和鯨振子夂狭说ハ郃∧さ暮穸取⒄凵渎省⑾庀凳光学带隙等参数。结果显示,鲁I⒎⑸.以下,反常色散发生在以上,与等离子振动频率一致。局和局分别是单振子的能量和散射能,拟合的单振子模型参数局和函分别为。表明由射频磁控溅射法制备的薄膜为离子型合物。根据单一谐振子模型,计算的带隙参数毛和等离子频率壳纰分别为关键词:射频磁控溅射,薄膜,单振子模型,椭偏光谱,光学性质龃蟮和之间。。
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录薄膜椭圆偏振光谱研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯崧邸参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯个人简历与硕士期间发表论文⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.目淦荡趴亟ι渲票窤∧ぁ摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..研究背景与意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本论文研究的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯溅射功率对薄膜性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯沉积温度对薄膜性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.氧氩比对薄膜性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.不同温度下薄膜的椭圆偏振光谱研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。单相薄膜的椭圆偏振光谱研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯.........⋯.⋯⋯⋯⋯.⋯.....⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯...ι涔β识訟∧さ奈⒔∧∧さ奈⒔∧さ墓庋灾实挠跋臁氧氩比对薄膜的微结构的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.蹼脖榷訟∧さ墓庋灾实挠跋臁.
绪论研究背景与意义随着的普及与数据密集型应用的发展,超大容量存储将是世纪数码产品的首要要求。光存储与磁光存储特别是短波方向的光存储与磁光存储因其在提高存储密度方面的特有优势而成为最前沿、最明朗的存储技术。为了突破存储极限,世纪九十年代,同本与美国先后发展了一种被称之为超分辨近场的技术碨8眉际跬ü近场光,可突破分辨极限,减小光点尺寸,从而使超高密度大容量存储成为可能。氧化银具有热不稳定性。当加热或强光照射时,可热分解为银纳米粒子。利用银纳米粒子的表面等离子体激发,可增强对短波光的散射。。娜炔晃定性使其在在短波方向的光存储与磁光存储方面的应用得到了极大关注。薄膜具有宽的带隙范围..庵饕9榻嵊诓煌谋∧ぶ票讣际踔票傅薄膜相结构、晶体结构、化学配比等方面的巨大差异【作为一种非常重要的宽带隙半导体光电功能材料,。蚱涠捞匚锢碛牖学性质【’使其在多个领域均有潜在的应用前景。电学方面,。勺魑P型蓄电池电极【。唤隹苫竦贸之的电流密度,而且可大大提高蓄电池的性能与寿命。另外,也可用作表面等离子体与

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