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扫描电子显微镜技术参数.docx

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二次电子探测器分辨率:<(30KV);<8nm(3KV),背散射电子探测器分辨率:<(30kv)。
★:
最低倍率可达到1倍,最高倍率可达到1000,000。

★,高低真空自动转换;
:咼真空可达到5xlO-4Pa;
低真空范围不小于5-500Pa;

电子枪:钨灯丝,具有自动加热及对中的功能;
聚光镜:具有自动可变焦功能;
:200V-30kV,10V步进可调;
:最大束流不小于2uA,并连续可调。★,可以精确控制束流和束斑尺寸;

:装载直径>200mm样品;
:具有全自动五轴马达驱动功能;
样品台移动范围:X=100mm,Y=100mm,Z=100mm旋转:360度连续
倾斜:-30度到+90度
更换样品后抽真空时间:<5分钟;
样品台具有报警与自动停止功能,具有样品位置感知功能。


具备可伸缩的YAG晶体背散射电子探测器具备用于观察样品室情况的红外摄像机;
★:同时得到二次电子像,背散射电子像,两种图像混合像,也可四幅图像同时成像,BSE可分别成像,并和SE任意叠加混合;
具备五种电子光学工作模式;
★:从20ns至10ms像素,可阶段或连续式的调整,可进行3维
电子束扫描,电子束沿X和Y轴倾斜扫描实时立体成像。

电镜操作控制系统:鼠标、键盘、轨迹球;
:Intel®,8GB内存,500GB硬盘,nVIDIAGT6302GBDDR3,Windows8
,图像采集、存档、处理和分析;
★。
能谱仪(EDS)部分
该设备可与扫描电镜配套使用,用于材料的微区成分分析,并配备与相关扫描电镜连接的接口。
:分析型SDD硅漂移电制冷探测器,不小于10mm2有效探测面积,无需液氮冷却,仅消耗电能。
:MnKa保证优于129eV,元素分析范围:Be4〜Am95。
离子溅射仪
配备离子溅射仪,可实现试样喷金。
扫描电镜配件
随机备件:包括标准附件及工具和消耗品1套(包括有高寿命钨灯,以及各种保险丝、密封圈、样品托、机械泵油、导电胶带)。

厂家免费负责仪器安装、调试,对仪器管理人员提供免费现场培训。
必须要求由制造商厂家资深工程师安装、调试设备,拒绝由制造商指定代理商的工程师进行设备的安装、调试。
仪器安装后厂家派仪器管理操作人员2人到国内培训部(或实验室)提供免费培训,并常年设有技术人员提供免费技术咨询和服务。
★条款为必须满足指标