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学位论文作者:泰《卜辛菇学位论文作者:签如楠日期:沙耗月月学位论文使用授权声明学位论文原创性声明日期:沙本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。本人在导师指导下完成的论文及相关的职务作品,知识产权归属郑州大学。根据郑州大学有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权郑州大学可以将本学位论文的全部或部分编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或者其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该学位论文直接相关的学术论文或成果时,第一署名单位仍然为郑州大学。保密论文在解密后应遵守此规定。
摘要硅纳米材料特别是一维纳米硅材料由于其在尺寸上的特点,表现出与体材料不同的量子限域效应、小尺寸效应、宏观量子隧道效应和表面效应等特点,并表现出奇特的力学、光学、电学、磁学、热学和化学等性能,已经成为国际半导体材料和纳米领域研究的热点。集成电路及光伏器件等基本上都是以硅作为衬底的。因此把硅纳米线、硅纳米孔洞、多孔硅及硅纳米管等一维纳米结构与硅片结合起来,将对硅纳米材料的广泛应用产生深远的影响。本文在不采用任何模板和特别技术下,采用金属辅助化学腐蚀法,同时结合硅的各向异性腐蚀制备出了大面积具有同一尺寸的方形硅纳米孔洞结构,对影响方形硅纳米孔洞生长的因素进行了初步探索。由于金属银纳米颗粒对硅的腐蚀有重要的辅助催化作用,且分散的金属银纳米颗粒更有利于硅纳米孔洞的生长,所以重点进行了银纳米颗粒形貌的控制研究。通过改变银膜厚度、升温和降温速度、保温时间和保护气氛等退火条件,研究了不同的工艺参数对银纳米颗粒形成的影响,最后得到分散性较好的银纳米颗粒的合成条件为:银膜厚度为玪噪财1;て澹滤俣任猯妫痳滴滤俣任妫痬,在退火温度为嫦露匝方型嘶稹通过改变刻蚀溶液的浓度、反应温度、反应时间等刻蚀条件,研究了不同工艺参数对方形硅纳米孔洞形成的影响。结合金属催化机制和硅的各向异性腐蚀机理解释了方形硅纳米孔洞形成原因。获得了制备方形硅纳米孔洞结构的优化条件:氢氟酸的浓度为疞,双氧水的浓度为./从ξ度为~℃。进行了方形硅纳米孔洞的应用研究。用拉曼光谱仪探测吸附有腺嘌呤分子的方形硅纳米孔洞/银基底的拉曼谱,结果显示方形硅纳米孔洞/银基底具有良好的灵敏性。利用分光光度计测量了具有方形纳米孔结构的硅衬底的积分反射谱,结果显示出其具有优良的减反射性,在ǘ蔚姆瓷渎实椭%。关键词:方形硅纳米孔洞银纳米颗粒可控制备辅助催化
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第乱擅卓帕5男蚊部刂啤硅纳米线和多孔硅的形成机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..硅纳米材料的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本论文研究目的及内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.实验原料、仪器及实验过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯退火条件对银纳米颗粒形貌的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⒐..⋯...⋯.⋯.................⋯..................⋯⋯⋯.⋯.....................................⋯..⋯.⋯.....................................⋯.⋯.⋯⋯.⋯.⋯..⋯.⋯.⋯⋯..⋯⋯⋯.⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..:。
第路叫喂枘擅卓锥吹挠τ醚芯俊第陆崧塾胝雇个人简历在学期间发表的学术论文及专利⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..工艺参数对方形硅纳米孔洞生成的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯方形硅纳米孔洞结构作为活性基底⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯方形硅纳米孔洞结构的反射率测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯以方形硅纳米孔洞为衬底沉积其它纳米材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.结论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯