文档介绍：硕士学位论文论文题目:碳化硅的线锯切片技术与加工机理研究够作者姓名机械制造及其自动化指导教师姓名孟磊专业韩云鹏教授专业技术职务”年
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论文作者签名:际η┟荷期:竺卿论文作者签名:垒盘期:塑:,原创性声明关于学位论文使用授权的声明本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。本人同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的印刷件和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权山东大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。C苈畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑日
录目第绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本课题研究的目的与意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯晶体切片技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硬脆材料锯切加工质量研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本课题研究的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第绿蓟杞鸶帐呔馇懈钍匝榧肮ひ詹问柚谩线锯切割设备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.试验方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第绿蓟杈褰鸶帐呔饧庸な匝檠芯俊试验方案设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.......⋯.⋯.⋯..⋯..⋯⋯⋯..............⋯...⋯⋯⋯..⋯.⋯⋯......⋯.⋯..⋯.⋯.⋯.⋯..⋯.⋯⋯⋯..⋯⋯⋯.....⋯.....⋯..⋯..⋯.⋯....⋯⋯.....⋯.⋯.⋯⋯.⋯..::
碳化硅线锯切割锯切力分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一碳化硅线锯切割材料去除率分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.碳化硅线锯切割表面微观形貌分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯碳化硅线锯切割表面粗糙度分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯碳化硅线锯切割锯丝磨损⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.正交实验与工艺参数优化⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第绿蓟杞鸶帐呔馇衅庸せ硌芯俊碳化硅晶体的结构与性能⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硬脆材料去除机理模型⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯脆性材料塑性域去除的条件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯单颗磨粒锯切力分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯碳化硅线锯切割去除机理分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯总结与展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一山东大学硕十学位论文
成高质量晶片非常重要,否则将给后序的磨抛工作带来极大困难。本文提出了用环形电镀金刚石线锯切割碳化硅这一新的加工技术,该技术具有锯切效率高、加工质量好、对环境污染小等优点。论文通过对这一加工技术进行深入系统的试验研究和理论分析,揭示碳化硅晶体线锯加工的材料去除机理,加工质量与工艺参数间的关系,提出了提高加工质量的措施,优化了工艺参数。论文所作的主要工作及成果如下:阐述了环形电镀金刚石线锯加工机床的设计要求和工作原理。该机床直接用电主轴驱动主动轮带动锯丝运动,锯丝的速度由变频调速器控制;为保护锯丝,工作台由砝码重力牵引实现恒力进给。整个机床结构简单,易于速度控制,工作可靠。根据锯丝的振动、受力和锯丝的强度分析,确定了本试验的锯丝速度、恒进给力的最佳范围。通过环形电镀会刚石线锯加工碳化硅的试验,研究了锯丝速度、恒进给力对材料去除率、锯切力、锯切表面粗糙度的影响,分析了锯丝的磨损。为了提高材料去除率和加工质量,用正交试验法对加工工艺参数进行了优化。建立了线锯加工单颗磨粒的锯切力计算模型,根据模型和试验,对碳化硅