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王蛐刁日蛔日期:洲学位论文使用授权声明究所取得或集体已体,均已学位本人在导师指导下完成的论文及相关的职务作品,知识产权归属郑州大学。根据郑州大学有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权郑州大学可以将本学位论文的全部或部分编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或者其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该学位论文直接相关的学术论文或成果时,第一署名单位仍然为郑州大学。保密论文在解密后应遵守此规定。学位论文作者:本人
⒁宰芷刮⒀蹼脖任:⒑穸任岬、退火温度为嫖J验条件,在倾斜角为。的上生长了厚度为档腨∧ぃ谱摘要外延地生长在倾斜的3牡咨鲜保琘∧け砻娣ㄏ蛴隮的岢蒕角,若有激光光沿岱较蛉肷鋂砻媸保瑉轴有激光感生热电电压产生。这种热电材料称为原子层热电材料。这种激光感生热电电压器件具有响应快擅氲狡っ、响应光谱宽馄追段Т幼贤獾胶焱、灵敏度高、非制冷探测、高稳定性、易集成、成本低廉的特点,有很广阔的应用前景。本文就的制备、薄膜的生长条件、不同条件对薄膜的影响,以及原子层热电堆进行了研究:⒉捎霉滔喾ㄖ票竃圆煌纳战嵛露冉辛搜芯俊7直鸲℃、妗℃、妗℃温度下制备的经治龇⑾郑℃温度下制备的杂相少,质量最好。⒉捎弥绷鞔趴亟ι浞ㄖ票噶薡∧ぃ芯苛薡∧どす中不同条件对薄膜生长的影响,包括不同总气压、氧氩比、厚度和退火温度,通过治觯弊芷刮⒀蹼脖任猯:⒑穸任猯⑼嘶鹞露任℃时,是薄膜生长的最佳条件。成为激光感生热电电压器件,并设计了测量系统进行了测量,结果表明与激光能量成线性关系。关键词:原子层热电堆,激光感生热电电压,,直流磁控溅射
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—す飧猩鹊绲缪乖怼摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯.攀觥靶材的制备和表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..录的基本性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..激光感生热电电压发展史⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.国内外研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯论文的主要研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..各向异性вΑ原子层热电堆材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.原子层热电堆模型⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯包含时间因子的⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯薄膜参量对感生热电电压的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯的制备方法简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯固相法制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.固相法制备及工艺研究⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯..表征方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯.................................................目录
薄膜的制备和表征研究...⋯⋯⋯.⋯⋯..⋯⋯.原子层热电堆的制作⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯实验结果分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯..引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯厚度对薄膜影响研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.探头的制作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯薄膜的制备方法介绍⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..试验方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..直流磁控溅射制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.溅射氛围研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..:⋯⋯.氧分压对薄膜的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..退火温度对薄膜质量的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.测试实验⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...龀寮す獬粱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..鹗粲谢锘喑粱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.鹗粲谢芤撼粱⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.嘶鹞露榷员∧け砻嫘翁挠跋臁.∧
崧邸致谢⋯.个人简历..参考文献测量.
●◇概述的基本性质●’高温超导氧化物.。是三重的、缺氧的、畸变了的正交钙钛矿结构,其结构如图所示,三个轴的晶格常数分别为,.彳,其中謆≈。其晶体机构具有正交对称性,,当时超导性能最好,图为正交相的.。晶体结构【俊。乳的超导电流主要是在晶胞中与喙亓5腃嫔喜模虼具有高度的各向异性,平面内的临界超导电流是岱较虻倍,所以在外延生长时,人们都取岱较蛏系纳ぁ>ЯH∠蛐院途Я=缑娴娜趿攀图晶体结构,●
激光感生热电电压发展史接都会影响的超导性,所以良好的晶粒取向性和避免晶粒界面的弱连接都是制备高质量超导薄膜所应具备的条件。在制备超导薄膜时,控制使其沿轴生长,面平行于衬底的这种晶粒叫峋Я!娲怪庇诔牡椎木Я叫峋Я#琣轴晶粒是不具备超导电性的,是应该避免峋Я3鱿值摹轴晶粒也可能存在一定的旋转失配的情况,旋转失配对的超导性能有很大影响,有研究表明即使