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粒做作者:爵皿奎学位论文慨爵垃至日期:趂/年∥月辍卧日学位论文原创性声明学位论文使用授权声明:本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。本人在导师指导下完成的论文及相关的职务作品,知识产权归属郑州大学。根据郑州大学有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留或向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权郑少大学可以将本学位论文的全部或部分编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或者其他复制手段保存论文和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该学位论文直接相关的学术论文或成果时,第一署名单位仍然为郑州大学。保密论文在解密后应遵守此规定。
:ぷ髌刮狾⋯要摘掺铝氧化锌该鞯嫉绫∧び捎诘缱杪实汀⒃诳杉馇蛲干渎矢咔织构后的绒面结构能有效地对入射光起到减反作用,增加光的吸收,提高薄膜太阳电池光电转换效率,所以被广泛应用于薄膜太阳能电池前电极。制备既有优良的光电性能又有比较大的绒度且表面形貌均匀的绒面∧ざ云湓诒∧ぬ阳电池中的应用、进一步降低太阳电池生产成本和实现大规模产业化生产极其目前采用磁控溅射技术制备的∧,但要获得大面积均匀且有较高绒度的廾嬉话慊贡冉难,所以解决∧さ谋砻嬷咕刃晕侍舛訟薄膜的广泛应用有极其重要的意义。本文采用一定配比的稀盐酸与醋酸混合腐蚀溶液对∧そ行刻蚀,研究制备工艺和腐蚀溶液中醋酸对刻蚀后的薄膜结构、光电性能和表面形貌均匀性的影响,分析其表面反应机理,以期望对∧ご竺婊咕匀性有一定的指导性意义。本文用粼又柿糠质%的痁陶瓷靶材,在障拢采用直流磁控溅射在玻璃衬底上制备∧ぃ缓笥檬7ǹ淌捶ɑ竦萌廾∧ぁ@么乘奶秸搿一测试仪、、扫描电子显微镜直鹧芯抗ひ詹问透慈芤对∧じ辞昂蟮牡缪阅电阻率、载流子浓度和迁移率凸庋能杉馔干渎省⒎瓷渎屎腿薅、表面形貌的影响,研究结果如下:呕疉薄膜的制备工艺参数。实验得出:当氧气和氩气流量比为牡孜露仍,功率为,沉积时间为苤票傅玫焦獾缧阅苡帕嫉腁薄膜,其电阻率为×珥,可见光平均透射率约为%。捎萌植煌母慈芤河檬7ǹ淌捶ǘ云矫鍭薄膜进行刻蚀。实验得出:采用%的稀盐酸溶液中加入一定量的醋酸对平面∧じ能获得形貌最好的、绒面比较均匀的绒面∧ぁ捎貌煌浔鹊南⊙嗡嵊氪姿峄旌纤嵋憾訟薄膜进行刻蚀。实验得出:当腐蚀溶液中醋酸与盐酸体积比为:保芑竦糜薪洗笕薅戎档娜廾妗重要。摘要
、、、:配成混合酸液对∧じ床煌蔽省J笛榈贸觯焊螅膜表面出现较小的均匀的“陨石坑”状的结构,随着腐蚀时间的变长,坑的大小在变大,当腐蚀时问为保颖涞么罅撕芏啵⑶铱幼唇峁贡涞貌痪取缘头从ζ购透叻从ζ瓜轮票傅腁薄膜腐蚀相同时间。实验得出:反应气压较低时,薄膜致密性较好,经腐蚀后薄膜具有较好的表面形貌。反应气压较高时,薄膜与衬底的附着力较差,表面点缺陷较多,分布也不均匀,腐蚀后获得的绒面不均匀。.,测试两次反应后薄膜的厚度,计算薄膜的表面反应速率。实验得出:随着所加醋酸体积的的增加,腐蚀速率在逐渐变小,当醋酸与浓盐酸体积比为:此俾首钚。僭黾哟姿岬奶寤此俾视挚J急浯蟆加入少量醋酸时,醋酸分子以氢键缔合为环状的双分子,其空间位阻作用使反应速率减慢;当再增加醋酸的含量,随着醋酸含量的增加,浓度也增大,又显著地加快了反应速率。关键词:直流磁控溅射绒面∧け砻嬷故7ǹ淌慈薅缺砻嫘貌均匀性空间位阻摘要
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目录笛樯璞赣氩馐砸瞧鳌廾鍭薄膜的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.髀邸薄膜太阳能电池⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.绒面该鞯嫉绫∧ぁ选题思想及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本文主要研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯直流磁控溅射装置⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯薄膜的性能表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.能电池的发展趋势⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.∧ぬò⒁币氐绯氐姆⒄瓜肿础.