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铸锭炉保养指导书
::EI-I-000601
Reason(s)forUpdate更新原因:修正、补充
部门
ORIGINATOR
编制
REVIEWER
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APPROVAL
批准
:1OF7
签名
日期
一、目的:
规范铸锭炉的保养检修作业,以确保铸锭炉得到应有的保养检修,使该类设备在生产中安全正常运行。
二、范围:
本操作指导书适用于所有多晶铸锭炉。
三、定义:无
四、保养要求如下表:
、撞伤、夹伤、烫伤等各种危险,特别是在电源端子,真空泵、风机等处;必要时停止设备运行,甚至关闭水、电、气开关、阀门等做必要的安全防护措施。
,并记入《DSS炉月季年保养记录》。
保养类型
保养项目
保养方法
月保养
。用黄油枪从加油口加黄油,每个丝杠加黄油约7克.
,确保摩擦材料无磨损和松弛。抓住连接轴并试着用手转动,应该不动。检查所有的连接螺丝是否紧固。
,再关闭对应回水阀。在维护炉腔的任一流量计时,要确保其他流入炉腔的水是关闭的(流入炉腔的不同水路之间可能没有封死);
;
。用一个的内六角套筒反时针旋转塑料盖中心六方柱大约30度以移开塑料盖;
、陶瓷轴和垫片。检查其是否完好并用干净的白洁布清除上述零件上的沉积物;
,若完好则进行清洁;若O型圈已损坏,则更换。装回O型圈前,先给其表面抹少许真空油,再将它装在盖子上或流量计腔室中;
,检查腐蚀情况及内部结构;
;
,任一面朝里都可以;
:将盖子边缘突起部分与腔室中的对应狭槽的位置对好;
普通作业指导书
铸锭炉保养指导书
::EI-I-000601
Reason(s)forUpdate更新原因:修正、补充
部门
ORIGINATOR
编制
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:2OF7
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日期
保养类型
保养项目
保养方法
月保养
,然后用内六角套筒顺时针旋转盖子约30度以锁定;
;
,缓慢打开进水出水铜管底部球阀,使沉淀杂物排出,直至排出的水干净无杂物。
,一定要缓慢开启各球阀,以免水流压力冲击给水路造成损坏;关球阀时也要缓慢。
。若有泄漏,可能是盖子不紧,将盖子紧到位。若还不能解决泄漏,则卸掉盖子清洁重装再看结果。
、接头部分是否有渗漏。
,若有松动则用手拧紧。
2. 验证绝缘性:a)用万用表检查加热器与隔热笼顶部隔热板及隔热笼侧壁是否绝缘,测得电阻必须在1000欧以上,否则予以维修处理(清理绝缘陶瓷片和绝缘陶瓷套上的石墨灰尘);b)用万用表检查加热器与上炉腔是否绝缘测得电阻必须在1000欧以上(清理绝缘陶瓷片和绝缘陶瓷套上的石墨灰尘)。
,否则调整。
-BLOCK上氧化锆管的完好性,如果有断、裂则予以更换。
-BLOCK上热电偶在“手动屏幕”上的显示读数:当炉腔完全冷却时,读数应当接近室温(20-30°C)。
,抽真空到600mbar左右;
,从In/Outlet框中选Outlet,并将Inlet%设定到20,压力设定在600,V2和V3必须是开(按扭显示绿色);
-21%(20%±1%);
,-,然后按照MFC制造商手册中控制阀机械调零程序进行调整。如果反馈值读数还不正确,则须换MFC或发外校正。
普通作业指导书
DSS铸锭炉保养指导书
::EI-I-000601
Reason(s)forUpdate更新原因:修正、补充
部门
ORIGINATOR
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:3OF7
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日期
保养类型
保养项目
保养方法
月保养
“MFC检查及校正”中的第1第2步建立各参数,在“Overviewscreen”的“Gasout”框中观察Outlet信号,它应该在50%到60%之间,压力应该控制在600±1mbar范围内;
%,等压力稳定后(约2分钟),Outlet的值必须围绕一个比第一步更高的值变动,同时压力还须控制在600±1mbar范围内;
%,过约2分钟后等压力稳定后,Outlet的值必须围绕一个比第一步更低的值变动,同时压力还须控制在600±1mbar范围内;
,先检查Outlet的PID值是否正确。如果PID值正常,则按照季保养中的“Herion阀清洁”所述的方法清洁阀。如果还不能解决问题,则换阀体和/或阀的放大器。
、试验
。所有的若不正常则更换,若正常则断电进行清洁(在不拆卸零部件的情况下)。还须拆下电气控制柜上风扇滤网进行清洁。必要时用吸尘器对电气部件上的灰尘进行清洁。
,慢慢调小调节器的压力直到报警被激活—PS1000空气检测器上的红色LED将熄灭。报警在压力50-55psi时将被激活,若不是这样,则调节PS1000开关上的红色螺丝直到正常。确认在临界点附近升降压力时工作正常,再将压力调节到65-68psi(不要超过70psi);
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铸锭炉保养指导书
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:4OF7
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保养类型
保养项目
保养方法
月保养
。,Bat和Load各至少有一个亮,若有其它灯亮或者上述的灯不亮,参考制造商手册;
检查泵的固定螺丝螺母有没松动,吸气管道有没松动,阀门有没松动
拆开油雾分离器排气管,让机械泵正常运转,检查排出的雾是否看得见。正常应该是看不见的。如果看得见,则说明滤芯破损(,则说明是滤芯破损)或滤芯安装不正确,则进行对应处理;
检查机械泵的玻璃视窗口的油标线,油标线应位于视窗口的1/3与2/3之间;罗茨泵的油标线应保持在凹陷区域范围内。
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铸锭炉保养指导书
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:5OF7
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日期
保养类型
保养项目
保养方法
季度保养
-粗真空计校正
注意:在做任何真空计的调节前必须保证给真空计通电至少30分钟。
粗真空计校正:
a)为调节粗真空计的零点,。打开大流量真空阀门(V1)。在“Manualscreen”点击“Maintscreen”,输入密码则出现“MAINTANCESCREEN”对话框,粗细真空计的读数显示在该对话框中;
b)若屏幕显示的粗真空计的读数不为零,则调节位于粗真空计顶部的电位计(调节前必须确保该真空计已通电30分钟以上),直至显示的读数为0±;
c)回到“Manualscreen”,关闭V1阀,然后充氩气使炉腔压力达到大气压力。停留30秒以使压力稳定,然后检查“Maintscreen”上粗真空计的大致读数为980±10毫巴;
d)若气压读数超出偏差范围,则反时针旋转粗真空计顶部的红色环形盖子以使分压计(左手边)露出来。调节该分压计直至达到上述压力范围。最后装好红色环形盖子。
。Herion阀位于机器的后面V1阀的上边;
;
,卸下阀。小心不要掉了密封圈;
;
,另一只手卸下四个螺丝;
,露出弹簧和O型圈;
:弹簧﹑O型圈和阀芯;然后再松开电磁铁一端的四个螺丝,取出铜导套和O型圈;
;
;
10. 把阀芯插入阀体(尖部在前);
11. 插上弹簧,并把O型圈放入槽中;
12. 小心地压上盖板,并对准螺丝孔,插上螺丝,均匀的上紧螺丝;
13. 将电磁阀一端的铜套和O型圈正确装配,并拧紧螺丝;
14. 把Herion阀装回真空管路上,保证连接处的密封圈清洁,拧紧加紧器;
15. 把阀的放大器连接上并检查阀的运作。
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日期
保养类型
保养项目
保养方法
半年保养
:运行泵直到油温达到正常运转时温度(63-75°C),确认炉腔内压力在980mbar左右,且V1阀关闭,停止泵运转,关闭机械泵断路器以保安全。
将容器放在油箱的放油阀下,打开阀,直到油放完,可以转一下泵把泵里边残留的油放干净,关阀。
:
对于真空泵:加油确保O型圈是完好后把注油口盖拧紧;然后给上注油口加油直到油标线到达视窗的2/3处,再拧紧上注油口油塞。。
(V1)是关闭的,启动泵。观察游标线,一两分钟后关泵,并从上注油孔加油到油标线到达视窗中间。
。
,卸下磁性油塞放油,放完油后,拧紧油塞。
,给每个注油孔中加半夸脱油,确保游标线接近凹槽上线,需要时再加油。
,开机械泵,约20分钟后设定真空模式为V,等待压力达到50mbar以下时加强泵开启。
,检查游标线。如果游标线变化很大,停止泵运转,加油或放油。
3连轴器橡胶块
气镇功能检查
,两个带轮的定位及与轴连接的紧密情况,再检查带的磨损情况,若磨损严重,则换带;
,会发生灰尘等阻塞气镇孔上装的针阀,以及泵内气体通路的情况。
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日期
保养类型
保养项目
保养方法
半年保养
按月保养清洁了每一路的水流量计后,对冷却水路进行冲洗。冲洗时注意:
把本环路和其他环路隔离;
可以把进水口和出水口对调进行冲洗,可用水气混合冲洗;
每一路需冲洗至流量值接近正常运行所需值。