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根离子的分离色谱柱.
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根离子的分离色谱柱.
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参考文献略
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测器页

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≯一
扫描电子显微镜射线荧光分析
, 尸敌後耋/
.
摘要: 本文报道了笔者设计的射线荧度。在分析中,采用的靶是镍箔或钼箔。
光分析装置,它安姨在带有能量色本试验使用的烛玻璃标样和
敞谱仪的扫描电子显微镜上文中比较叠。
射线荧光分析法和电子束微区分析法的炙敏在和晶的潜图上出现了非样
一一
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品组分元素所产生的新谱峰。它们可能是由兰、结果
于样品对入射的射线所产生的劳厄衍射所
形成的。应用镍箔作为射线源在单晶片上获
的谱图图中仅仅包含有一个可以忽略
一
、引言的铁峰和一个小的铝峰由样品室中的附件
在扫描电子显微镜上常用的元所产生。图是以钼锆为射线源的多晶
素分析方法是由电子束激发样品元素的特征的谱图。其中没有发现沾污。为了激
射线。在用能量色散谱仪检测的发不同原子序数范围内的元素可以采用不同
情况下,多数元素的检测极限约为. , 的金属箔作靶
若由射线代替电子束进行激发,检测极限
将会得到改善。将一个金属箔救入扫描电子
显微镜的电子束中, 电子束与金属箔相互作
用将产生射线。它的一部分会穿透金属箔,
可用这部分射线激发样品的特征射线。
这是一个印实可行的方法。能量色散射线
荧光分析装置的设计见图。本
文比较了分析和电子探针微区分析
的灵敏度。本实验使用的靶是镍图射线荧光附加装置的示意图图中标出
箔和钼箔,标样是暑—了将射线反射到检铡器中的平面和单晶
的玻璃标样和的旋转轴。
.检测器’.电子束’.靶’
。
.标样
在和单晶的谱图上出现了非样
品组分元素的新谱峰,当样品倾斜或旋转时,
这些谱蜂的强度就会改变, 所以它们不是属
于样品的谱峰。由于这个原因,笔者进行了另
一类实验在此实验中,让单晶和单
晶逐步地旋转,而且样品每旋转一步就测一
次谱峰的能量和强度。晶面的谱
图证实了连续射线在晶面上反射的设想。
二、仪器
图在一块单晶圆片上测量到的
所使用的扫描电子显微镜为的的谱图
一, 能量色散谱仪为