文档介绍：烈耗栳芸宥妥摺ぴ学位论文篐透明导电薄膜中的粼有形Q芯王俊指导教师姓名:申请学位级别:论文定稿日期:学位授予单位:学位授予日期:祝柏林淌武汉科技大学材料与冶金学院答辩委员会主席:评阅人:曹阳教授级高工吴润教授王若平教授级高工篐分类号:密级:
指导教师签名:鸯鱼拯蘧垂论义作者签名:⋯至⋯:期:.丝型:』:』研究生学位论文创新性声明研究生学位论文版权使用授权声明武汉科技大学究所枪拥某晒3闹蠰绛滓Т↖哪谵幕蚱敉涣膤究儿时完成的:所譬交的。学侮仑文址小人旱糘,【瘢航鴠¨对小文的研哆芒做⋯哐婴贞献的个人删集体,均已舀澹琹·以协力‘鷌叫。佳宦壅捎胱柿戏抵Γ怂!で写ǜ腹骹论文作者签名:木论文的研究成果”浜嚎萍既艘籮#琷芯磕谛啃」右詊妒的私义笈太。本人党食,’解戚阂蹇萍巳恕ω昊鸲郁妗⑺ㄑ课牡墓娑ǎ琲牵郏盒V昝璲;覆縷按《议科于支人。、≯欠￡,卜’”位沦文收求篺坏墓娑ā分磈送交涂义的丝刚仆和。嫘。识郝畚膡暮蚮海模刚意中校将小涂义的个翻;或部分仔勘嗳胙H螴‘的州家川火数榭甹进小人籱,鹤魍狻P÷郯痜琭甪鋈顺山菀丫⑸コ勺ā还淖鳎籌小榆豢眉酝鈐】瘛.
子浓度的下降,随着基底温度的升高,部分的会与薄膜中的氧空位生成热稳定较高武汉科技大学硕士学位论文摘要透明导电氧化物薄膜蚱渚哂械偷牡缱杪屎透叩耐腹饴识还惴旱挠τ糜谄桨显示器、太阳能电池、发光二极管、以及节能玻璃等领域中。其中,铝掺杂的氧化锌薄膜由于具有原料丰富、价格便宜、无毒以及在氢等离子体中稳定等优点,从而被认为是将来最有希望取代传统篠薄膜的透明导电材料。理论和实验已经证明,仅可以影响∧さ慕峁梗够岚缪菔┲鞯慕巧岣弑∧さ牡嫉缧裕蔋的掺杂有利于获得高性能该鞯嫉绫∧ぁ5悄壳肮赜贖在∧ぶ械牟粼有形I写嬲椋阐明牟粼踊矶訸透明导电薄膜的发展具有重大意义。本文采用射频磁控溅射的技术,通过在溅射气氛中加入的方法,在普通玻璃上制备篐薄膜,并对所制得的薄膜进行真空退火处理。利用湎哐苌、扫描电子显微镜⒒舳вΣ馐云教ㄒ约白贤庖豢杉止夤舛燃频缺碚魇侄危芯苛薍髁亢退火温度对篐薄膜结构和性能的影响,并对牟粼有形=辛讼晗傅姆治觥4送猓本文分别在大气环境和湿热环境D獗∧ぬ裟艿绯氐腎测试标准卸运频的篐薄膜进行了电学性能稳定性测试,分析了基底温度和流量对电学性能薄膜稳定性的影响。研究表明,流量对薄膜结构和性能的影响与基底温度有很大关系。其中,基底温度为媸保琀髁康脑黾邮贡∧取向增强;基底温度为婧℃时,适量的使得薄膜∠蛟銮浚ЯT龃螅旅芏忍岣撸换孜露任℃时,对薄膜质量影响不大。基底温度较低时,薄膜的电阻率随着流量的增加而下降,相应的载流子浓度和迁移率上升,薄膜在可见光区的平均透光率高于%,表现出良好的光电性能。退火处理后,∧さ牡缱杪式档停琙:∧さ牡缱杪史炊摺T妫6任サ湿热环境中暴露∈焙螅琙和篐薄膜电阻率均随暴露时间的增加而升高,且远大于暴露在大气中的上升幅度。同时发现,基底温度的升高和流量的增加可以有效的提高薄膜在大气和湿热环境中的稳定性。综合实验结果,可以认为唤隹梢源俳τ诩湎段恢玫腁〈Ц翊Φ腪时还会掺入到薄膜中并扮演施主的角色。其中,基底温度较低时,掺入薄膜的嵴季Ц裰械腂挝恢靡訦男问酱嬖冢谕嘶鸬墓讨校琀嵯虮∧ね饫┥⒌贾略亓的。关键词:∧ぃ淦荡趴亟ι洌琀掺杂,真空退火,稳定性第
,甌武汉科技大学硕士学位论文曲瑀甌...,%,.℃。,,,琹,瓾,篐篐猺甀,妫瑃,%鮝,猼琫
武汉科技大学硕士学位论文第篫甒瑆,瑀一,
武汉科技大学硕士学位论文目录第摘绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..∧じ攀觥∧ぞ褰峁埂∧ぞ宓闳毕荨缪阅堋庋阅堋∧さ闹票阜椒ā篐薄膜概述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯赯中的能级位置⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯赯中的存在状态⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯赯中的扩散行为⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.訸薄膜结构和形貌的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..訸薄膜光电性能的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本课题的研究内容及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第耑:∧ぶ票讣敖峁埂⑿阅懿馐浴射频磁控溅射原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.篐薄膜样品制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..笛樯璞浮篐薄膜制备及热处理过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯篐薄膜性能表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第耑:∧そ峁购托阅苎芯俊薄膜制备工艺参数⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯