文档介绍：本文在对大量文献进行调研的基础上,首先分析了国内外删痴衿鞣⒄中文摘要现状,其次列举了目前谐振器的结构,阐述了它韵工作原理,并对其关键参数进行系统的研究,采用淦捣抡嫒砑孕痴衿鞯缪匦越心D夥治觯砑訫振器进行模拟仿真,对不同尺寸、不同结构谐振器进行比较分析,讨论了谐振器的谐振频率与结构尺寸的关系。对双端固支梁式与圆盘式谐振器的压膜阻尼效应·,心D夥治觯贸鲅鼓ぷ枘嵊虢峁沟墓叵怠W詈蠖訫痴衿鞴ひ战醒芯浚分别基于衬底和牡咨杓屏街止ひ辗桨浮1疚亩訫痴衿鞲飨畈问哪谐振器具有体积小、成本低、可与电路集成等优点,是下一代通信系统的热门研究对象。谐振器可以满足通讯射频领域的各项需求,因此它在市场上极具竞争力,目前已广泛用于网络、通讯、汽车和工业设备中。为谐振器的理论分析奠定基础。利用拟分析可以优化谐振器设计,提高谐振器性能,对谐振器设计有重要意义。关键词:痴衿鳎籆;频率:。、、,:‘一’.、..‘,.●.·
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目录中文摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..谐振器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯谐振器的发展现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯谐振船研究的目的与意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第翸痴衿骼砺鄯治觥谐振器的原理和结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯厶⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...钢值湫偷男痴衿鳌几个关键参数和影响因素⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...痴衿骷觳夥绞健本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯.本论文主要研究工作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。谐振器模拟分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯●⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...‘.
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.∧ぜ际酢谐振器的工艺设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯攻读硕士学位期间所发表的学术论文⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯独创性声明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第翸痴衿鞯墓ひ丈杓啤材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.关键工艺研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。黑龙江大学硕士学位论文
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第滦髀简介际醯仍谀诘母娴募际酢囊话闾卣髦饕S【浚撼叽缭诤撩椎轿⒚追段冢怀杀镜停约郾雀撸纱笈可换诘ú幌抻硅微加工技术制造;中的能量转化包括力、热、光、磁、生物、化学等方基于上述的特性和优点,我国从年代末开始了的研究,研究单位主是拘缩写,可译为微电子机械系统,它出现于年代末,是指用批量化的不限于使用微电子工艺制造的,集微传感器、微执行器、微控制器和于一体,可以完成信息获取、处理及执行功能的智能化系统【¨。有时根据不同的习惯或场合,微电子机械系统也被称为微机械、微结构或微机电系统。它的构成如图所示。技术于年代末开始被应用,经过多年的发展,已经由其单一的光刻、腐蚀等技术变为现今包含表面工艺⑻骞韫ひ面能量,而不限于狭义的力学中的机械能。技术已经广泛的应用于生活之中,例如图为汽车中的应用,图为在手机中的应用【。要有航天工业总公司、上海冶金所、中国科技集团第研究所等,一些高等院校图⒒缦低彻钩·他
麟图癝在手机中应用谐振器谐振器的发展现状如清华大学、北京大学、哈尔滨工业大学、黑龙江大学等也都对进行了研究。年国内研发单位情况如图所示。综上所述,具有体积小、早期电子产品主要采用振荡器,随着居里夫人发现压电效应后,人们开始使用石英晶体振荡器嘲,目前石英晶体振荡器在生活中已经被广泛的应用。随着科动敏感、体积较大、不能与硅片上的工艺相兼容等,这些都与现今微器件的小尺成本小、可靠性高,并且可以与许多功能集成,极大地提高了系统的灵敏度、精度、信噪比与智能化程度。技