文档介绍：广东工业大学硕士学位论文硅片超精密磨削用金刚石砂轮的制备及磨削性能研究叶恒分类号:学校代号:魏咂塾援玉扭越剑造区自动丝学生所属学院:狃电工猩堂瞳生鱼旦密级:学号:ぱ妒指导教师姓名、职称:企业导师姓名、职称:专业或领域名称:论文答辩日期:
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摘要重要的进程。当前,产业硅片加工的砂轮自身修整能伤、稳定性、耐磨性和经济性等方面提出了一个巨大挑战。究硅片超精密磨削用砂轮制备工艺与配方对砂轮气孔率、强响规律,从而分析砂轮制备工艺与配方对砂轮磨削比、磨削面质量的影响。通过理论计算与实验,研究造孔剂碳酸氢钠轮气孔大小与砂轮性能的影响规律,碳酸氢钠含量对砂轮气轮性能的影响规律。并得出以下主要结论:髦岷霞梁看%增加到%,硅片超精密磨削率逐渐减小,硬度增加,抗压强度逐渐提高,磨削比随之提逐渐提高,硅片的表面粗糙度先保持稳定,后增大。鸶帐吭ァブ涫保杵苣ハ饔本保持不变,硬度呈缓慢增大趋势,强度变化不大,磨削比稳定,磨削效率先增大后趋于稳定,硅片表面粗糙度先呈微后趋于稳定。谏奥钟不讨校炜准撂妓崆饽品纸馍啥砂轮内部形成气孔。通过理论计算与实验验证得到:碳酸氢尺寸大小决定砂轮气孔大小,碳酸氢钠含量决定砂轮气孔率ü笛榉治龅贸鲈炜准撂妓崆饽品勰┝>抖陨奥律:造孔剂碳酸氢钠粉末粒径由龃蟮絣畉保涠度、硬度稍微减小,气孔率基本维持不变,磨削比、磨削效表面粗糙度值增大。通过实验分析得出造孔剂碳酸氢钠含量影响规律:随着造孔剂碳酸氢钠含量增加,砂轮气孔率增加抗压强度迅速降低,磨削比先升高后快速下降,磨削效率先所下降,硅片表面粗糙度值呈减小趋势。孀懦尚脱沽Υ黾拥杵苣孔率逐步减小,硬度、抗压强度逐步提升,磨削比随之提高
逐步增大至一定程度后减小,硅片表面粗糙度先保持稳定后增大。孀派奥钟不露壬撸奥值钠茁省⒂捕取⑶慷戎鸾ヌ岣摺硬化温度从娴℃,砂轮磨削比提高;硬化温度升高到媸保砂轮磨削比稍微下降。硬化温度从娴℃,砂轮磨削效率逐渐提高,磨削后硅片表面粗糙度值维持不变;硬化温度超过婧螅奥帜ハ餍率下降,磨削后硅片表面粗糙度值增大。关键词:硅片;超精密磨削;砂轮广东工业大学硕士学位论文
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符号说明矾:砂轮上压痕直径:硅片表面粗糙度航鸶帐芏痬Ⅳ儿砂轮维氏硬度/荷奥制茁%:试样的干燥重量:饱和式样在空气中的总量:饱和式样在水中的质量荷奥钟捕燃觳馐┘友沽荷奥种髦嶙K#汗杵鬃K俣:砂轮进给速率/憾趸计逄寤禾妓崆饽品勰┟芏痬浩逖骨豪硐肫灞壤J憾趸计迤骄肿恿縏:气体温度仇:气:孑禾妓崆饽瓶帕A>海憾趸计逯柿禾妓崆饽品勰┲柿荷奥帜ハ餍痬砂轮磨削比聊、汗杵ハ髑昂笾柿聊,,荷奥帜ハ髑昂笾柿△:偏差耗ハ魇奔旯:
目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯符号说明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..目录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第二章硅片超精密磨削用砂轮配方设计原则和制备工艺研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第一章研究背景及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.硅片超精密磨削技术与超精密磨削砂轮⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本文主要研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硅片超精密磨削用砂轮的性能要求分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硅片超精密磨削用砂轮配方设计原则⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硅片超精密磨削用砂轮制备工艺设计原则⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硅片超精密磨削用砂轮的配方和制备工艺设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.........................................................。......................................................................俊