文档介绍：学位做储獬:研秀砂签字嗍:驯年多月多日学位沦文作者躲研壤沙学位论文独创性声明学位论文版权使用授权书南昌大学有关保留、使用学位论文的规定,其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得南昌大学或其他教育贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。和借阅。本人授权南昌大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致蹴的地方外,论文中不包含机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何本学位论文作者完全了解有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文彼查阅进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。同时授权中国科学技术信息研究所和中国学术期刊馀贪电子杂志社将本学位论文收录到《中国学位论文全文数据库》和《中国优秀博硕士学位沦文全文数据库》中全文发表,并通过网络向社会公众提供信息服务。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ导师签名
//////////// 、、、、、、、、ⅰⅰⅰⅰ’/学位论文独创性声明学位论文版权使用授权书其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得直昌太堂或其他教育本学位论文作者完全了解直星太差有关保留、使用学位论文的规定,有权阅。本人授权直昌太堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何学位论文作者签名:签字日期:保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借‘权中国科学技术信息研究所将本学位论文收录到泄宦畚娜氖菘狻罚C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ研究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意:年月日检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编本学位论文。同时授并通过网络向社会公众提供信息服务。导师签名:一一‘。.‘
,有钝化层的绿光的波长漂移小于变化为近几年来,在衬底上生长〉昧撕艽蟮慕埂O喽杂诓坏嫉绲睦侗石衬底,衬底的散热好,价格低,并且已经成功研制出了垂直结构的相对于同侧结构的怪苯峁沟腉基芄换航獾缌饔刀拢⑷刃圆等同侧结构墓逃腥钡悖行岣咂骷目煽啃杂胧倜⑶铱梢圆捎帽面粗化以及反射镜来提高器件光提取效率。村底垂直结构的鲇眉虻的化学腐蚀就可以轻松去除,这成为其又一巨大的优势。本文研究钝化层对衬底堵坦釲榷ㄐ阅艿挠跋煲约癆隨牡譖欧姆接触和反射率。获得的部分创新研究成果有:对植煌刍鉙牡茁坦釲谐蟮缌髅芏/加速老化。结果表明完全钝化嗝婧吞婢刍的硅衬底绿光氏至己玫可靠性。绕涫遣啾叨刍能钝化芯片表面态,抑制老化过程中的热生缺陷的产生,从而减少漏电流,降低光功率衰减等。长有钝化层的流密度高达/奔铀倮匣小时,即使无钝化层的样品,工作电流下光功率衰减也仅为.%。经电流蟮缌髅芏痚老化基本没有变化。钝化层能有效吸收蓝光发光中的短波辐射以及隔离环氧与高温芯片,减缓对环氧树脂的老化,从而降低芯片的光衰。为了测量諱せ钐跫筒煌嘶鹞露认翽面的反射率,找出最佳的工艺条件,本实验首次提出用蓝宝石庋悠种激活条件下,不同退火温度下退火,并测量了的反射率。结果表明牺牲工艺的反射率随着退火温度一直升高。。用衬底庋悠在不同激活条件和不同温度下退火,。综合畍特性和反射率,文本结果为在牺牲的条件最佳。对比有无/覆盖层,在不同温度下退火以及拇糙度,结果表明球聚导致反射率降低。/覆盖层能有效防止发生球聚,提高反射率。嘶穑诓A喜馐缘挠蠧疨哺遣愕腁姆瓷渎蚀锏.%,与理论值%很接近。以上研宄结果在本单位生产基地芯片生产中部分采用。:衬底;;;光衰;欧姆接触’
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⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·.目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·第一章综述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·第二章薄膜的性能以及对饬孔有实难芯俊幕揪褰峁共问ぁ嗔孔于錖的电学性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·结的电子空穴注入⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.:.·嗔孔于錖的光学性质⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·.,峰值波长,光通量⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯·团纺方哟ァぁ团纺方