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精选2021版课件
能量分散谱仪:EDS(EnergyDispersiveSpectrometer)
EDS是能快速地分析各种试样的微区内Be-U的所有元素的一种设备。EDS可以与EPMA,SEM,TEM等组合,其中SEM-EDS组合是应用最广的显微分析仪器。
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EDS检测原理
光子能量检测过程
X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器后,在晶体内产生电子一空穴对。在低温下,产生一个电子-。能量为E的X射线光子产生的电子-空穴对为N=E/。
例如:,形成的电子-空穴对为1550个。Cak:,约产生1,000电子-空穴对。
电子-空穴对形成电压脉冲信号,探测器输出的电压脉冲高度对应X射线的能量。
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定性分析原理
X射线的能量为E=hγ
h为普朗克常数,γ为光子振动频率。
不同元素发出的特征X射线具有不同频率,即具有不同能量,只要检测不同光子的能量(频率γ),即可确定元素-,线扫描,面扫描分析
特征X射线的产生:物质原子内层的某些电子被轰击,或跃迁到外部壳层,或使该原子电离,而在内层留下空位。然后,处在较外层的电子便跃入内层以填补这个空位。跃迁中多余的能量以特定波长的X射线光量子的形式放出。
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定量分析
:在相同条件下,同时测量标样和试样中各元素的X射线强度,通过强度比,再经过修正后可求出各元素的百分含量。有标样分析准确度高。
:标样X射线强度是通过理论计算或者数据库进行定量计算
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EDS特点
能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素,元素定性、定量分析,几分钟即可完成。
对试样与探测器的几何位置要求低,可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。
能谱所需探针电流小:对电子束照射后易损伤的试样,例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。
%-%,中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%
EDS定量分析的相对误差(含量>20%wt)的元素,允许的相对误差<5%
(3%wt<含量<20%wt的元素,允许的相对误差<10%
(1%wt<含量<3%wt的元素,允许的相对误差<30%
(%wt<含量<1%wt的元素,允许的相对误差<50%
能量分辨率低(130eV)
工作条件要求严格。Si(Li)探头必须始终保持在液氦冷却的低温状态,即使是在不工作时也不能中断,否则晶体内Li的浓度分布状态就会因扩散而变化,导致探头功能下降甚至完全被破坏。
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特征X射线能谱表
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