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第1章+薄膜制备的真空技术基础课件.ppt

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第1章+薄膜制备的真空技术基础课件.ppt

上传人:yixingmaoh 2022/11/26 文件大小:1.67 MB

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是相对于体材料而言的,是在体材料表面沉积或制备的一层性质与体材料性质完全不同的物质。
薄膜材料的性质及典型应用
光学性质
电学性质
磁学性质
化学性质
力学性质
热学性质
反射涂层和减反射涂层
光记录介质
光波导
绝缘薄膜
导电薄膜
半导体器件
磁记录介质
扩散阻挡层
防氧化或防腐蚀层
耐磨涂层
显微机械
防热涂层
课程内容
薄膜材料的制备手段
薄膜材料的形核与生长理论
薄膜材料的表征技术
薄膜材料的体系、性能及应用
真空(vacuum):是指在一定空间内低于一个大气压力的气体状态。
真空度:表示在真空状态下气体的稀薄程度,以压力零点为参考点,用单位面积上所受垂直方向的压力值来表示真空度。气体压力越低,真空度越高;压力越高,真空度越低。
国际单位:帕斯卡1Pa=1N/m2
真空技术基本概念与定律
单位名称
符号
换算关系
备注
标准大气压
atm
1atm=101325Pa

Torr
1Torr=
美国常用
毫米***柱
mmHg
1mmHg=
毫巴
mbar
1mbar=102Pa
欧洲常用
国际单位:帕斯卡1Pa=1N/m2
单位制
其它常用单位:
1摩尔任何气体在标准状态下所含的分子数是一个定值NA,×1023,。
阿伏加德罗定律
理想气体的状态方程
摩尔质量Kg/mol
玻意尔-马略特定律
一定质量的气体在温度保持不变时,压力和体积的乘积是一个常数,即
盖-吕萨特定律
一定质量气体在压力保持不变时,体积随温度成正比变化,即
PV=常数
查理定律
一定质量气体在体积保持不变时,压力随温度成正比变化,即
V∝T
P∝T
道尔顿分压定律
相互间不起化学作用的混合气体的总压力等于组成它的各种气体成分的分压力之和。
P=P1+P2+…+Pn
每种气体成分的分压力:
指在与混合气体的温度和体积相同,并且与混合气体中所含的这种气体的量完全相等的条件下,该种气体单独存在时的压力。
第一节气体分子运动论的基本概念
一、气体分子的运动速度及其分布
二、气体的压力和气体分子的平均自由程
三、气体分子的通量
应用实例
2、理想气体
气体分子之间除了相互碰撞的瞬间之外,完全不存在相互作用,因此
(1)它们可以被看作是相互独立运动的硬球;
(2)硬球的半径远远小于球与球之间的距离。
在一般的温度和压力条件下,所有的气体都可以被看作是理想气体。

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