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真空镀膜设施是电阻加热式蒸发真空镀膜设施。操作人员一定详尽阅读该机说明书,认识设施构造、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训,娴熟掌握各操作要领。经相关专业人员确认切合操作规范,方能独立上岗操作。
一、该机开机前应先检查电控柜的接线能否有松脱现象,接上电源,并检查真空室内电极绝缘性,钨丝接触能否靠谱,工件架转动能否自如。联轴器,输入电极接触能否优秀,各密封处特别是动密封处能否优秀。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量能否知足要求。供给的电源、气源,各样机械泵转向都应正确。注意:试验罗茨泵转向必定要在真空状态下进行。
经过上述检查,各项性能优秀,才能进行抽气试机。假如镀膜室长久裸露大气,还一定进行“炼气”,就是依据操作规程,不进行镀膜,只让机械泵、扩散泵等连续抽气,观察真空度上涨的稳固状况,若真空度保持稳固,才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达10小时以上。调试时主要检查:

二、知足以上各项检查后,进入操作和使用:
在非特别状况下,请勿以断拉闸(断电)方式停机。
本设施通电及运转过程中,请勿触摸电气控制柜内部和外面用电器件,注意安全。
确认安全无误时才能操作设施。
不要将设施交给非本设施操作人员操作。
设施及电源控制柜一定优秀接地。
非专业人员请不要维修本设施。
三、工作中还一定注意以下几点:
平常,整个系统要保持真空状态,工作前才充入气体,不要使真空室长久裸露在大气中;
真空室镀膜200-250次后,要冲洗真空室和工作支撑架;
常常检查胶封能否优秀,特别是动密封圈,按期给动密封圈加上真空脂;
按期检查电气元件,消除尘埃,改换烧坏的电器元件;
在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门;
罗茨泵、粗抽泵、保持泵要按期加油,换油(保持油面在油镜中心为佳);
,一定进行检修;
镀膜完成时先封闭真空丈量计,再封闭精抽、前置阀,待精抽阀、前置阀完整封闭后才能充入大气,不然会烧坏电离规管,氧化扩散泵油及发生不用要的之外;
镀膜机在工作过程中,不得断水,若在工作过程中忽然停电,应立刻封闭精抽阀门,减少因系统漏气泵油的氧化;
关罗茨泵后必定要经过1分钟后才能关粗抽泵,不然会由于罗茨泵在转速较高时充入气体,会破坏罗茨泵。